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产品特点
lŸ气浮导轨，超高性能精度Ÿ重复定位精度±15nm（Sic版）
lŸ平面式气浮结构，减小系统误差影响Ÿ直线度优于1μm
lŸ龙门式双驱结构，承载能力强ŸZ轴纳米级定位抖动
lŸ高速，快速的整定时间Ÿ可选激光尺位置反馈
lŸ可定制陶瓷材质气浮导轨Ÿ优化线缆管理系统
应用领域
QFHDS系列三轴超精密运动台，XY轴平面式气浮结构，Z轴交叉滚柱结构，用于半导体加工、检测、微纳加工等行业。
结构特点
XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，不存在因叠层引起的阿贝误差，此结构提升动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮轴承补偿方法，提高刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和极速位置整定。Z轴交叉滚柱导轨结构，安装到龙门横梁上，亚微米级精度，定位抖动优于20nm。更高要求可接受定制，瑞邦精控提供系统解决方案，对环境要求提供专业建议。
直驱设计
采用无铁芯直线电机驱动，实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴安装位置接近于负载水平面，以提高直线度、平面度和倾角误差等。
其他
使用高质量的电缆，带屏蔽功能，防止电子信号的干扰，优化管线的弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能。根据应用，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等。可安装激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升系统精度性能。
规格指标
型号 |
单位 |
QFHDS-300-300-50 |
QFHDS-400-400-100 | QFHDS-500-500-200 | ||||||
轴系 |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
行程 |
mm |
300 |
300 |
50 |
400 |
400 |
100 |
500 |
500 |
200 |
补偿后定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.25 |
±0.1 |
±0.25 |
±0.15 |
||
标准值 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.3 |
||||
双向重复定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.05 |
±0.025 |
±0.075 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.05 |
||
标准值 |
±0.1 |
±0.05 |
±0.15 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
||||
直线度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.2 |
±0.25 |
±0.5 |
±0.35 |
±0.5 |
±0.75 |
||
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
||||
平面度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.2 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
||
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
||||
Pitch Roll Yaw(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±2 |
±1 |
±3 |
||
标准值 |
±1 |
±5 |
±1.5 |
±5 |
±1.5 |
±7 |
||||
正交性 |
Plus(1) |
arc sec |
2 |
5 |
2 |
5 |
2 |
5 |
||
标准值 |
5 |
10 |
5 |
10 |
5 |
10 |
||||
电子分辨率(3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
||||||||
最大速度 (空载)(4) |
m/s |
1 |
0.1 |
1 |
0.2 |
1 |
0.2 |
|||
最大加速度 (空载)(4) |
m/s² |
5,（10, 20, 30 定制） |
5 |
5,（10, 20, 30 定制） |
5 |
5,（10, 20, 30 定制） |
5 |
|||
最大负载 |
kg |
20 |
15 |
20 |
15 |
20 |
15 |
|||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。