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产品特点
lŸ非接触闭式气浮结构Ÿ行程100~1000mm可选
lŸ亚微米级重复定位精度Ÿ全行程直线度优于1μm
Ÿ高柔线缆管理Ÿ可定制化设计
应用领域
QFU系列是一款大行程气浮运动台，闭式气浮结构，常规最大行程1米，直线度优于1μm，用于精密加工、测试测量、扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
QFU系列主要采用气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，闭式气浮结构，气浮导轨四面均匀受力，相较于开式气浮结构，侧向气浮刚度更大，承载能力更强，模态更高，系统带宽更大，相位裕度和幅值裕度余量更大，对于大体积、大负载及偏心安装等负载形式，更能突显其性能优势。
精度性能
气浮导轨基于气体静压效应，实现无摩擦和无振动地平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮运动台的直线度、平面度可达亚微米，Pitch Yaw指标可达1角秒内，由于非接触式，系统跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高，行程100~1000mm可选。
线缆管理
使用高质量、高柔性的屏蔽线缆，管线弯曲半径更小，能够防止电子信号的干扰，同时防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨，1米行程直线度可优于±0.5μm，更大行程也可接受定制。
规格指标
型号 |
单位 |
QFU-100 |
QFU-200 |
QFU-300 |
QFU-400 |
QFU-500 |
|
行程 |
mm |
100 |
200 |
300 |
400 |
500 |
|
补偿后定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
标准值 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.4 |
±0.4 |
||
双向重复定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.1 |
±0.1 |
标准值 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
||
直线度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.4 |
±0.4 |
标准值 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
||
平面度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.1 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
标准值 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.75 |
±0.75 |
||
Pitch Roll Yaw(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±0.25 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.8 |
±1 |
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1.5 |
±2 |
±2.5 |
||
电子分辨率(3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
|||||
最大速度 (空载)(4) |
m/s |
1 |
|||||
最大加速度 (空载)(4) |
m/s² |
5,（10, 20 定制） |
|||||
最大负载 |
kg |
20 |
|||||
供气压力(5) |
MPa |
0.5±0.05 |
型号 |
单位 |
QFU-600 |
QFU-700 |
QFU-800 |
QFU-900 |
QFU-1000 |
|
行程 |
mm |
600 |
700 |
800 |
900 |
1000 |
|
补偿后定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.3 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
标准值 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
||
双向重复定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
标准值 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
||
直线度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.45 |
±0.45 |
±0.45 |
±0.5 |
±0.5 |
标准值 |
±0.75 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
±1.5 |
||
平面度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.5 |
±0.65 |
±0.7 |
±1 |
±1 |
标准值 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
||
Pitch Roll Yaw(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±2 |
标准值 |
±3 |
±3 |
±4 |
±4.5 |
±5 |
||
电子分辨率(3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
|||||
最大速度 (空载)(4) |
m/s |
1 |
|||||
最大加速度 (空载)(4) |
m/s² |
5,（10, 20 定制） |
|||||
最大负载 |
kg |
20 |
|||||
供气压力(5) |
MPa |
0.5±0.05 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
订购信息
型号 |
QFU |
-300 |
-PLUS |
-AL |
-N |
-1 |
-0 |
-C1 |
-3 |
-Y |
-Y |
描述 |
闭式气浮运动台 |
行程300mm |
PLUS高精度版 |
铝合金气浮导轨 |
默认 |
增量式光栅1Vpp反馈 |
零点在行程中心位置 |
高柔排线 |
线缆长度3米 |
有大理石基座 |
有压力保护开关 |