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产品特点
lŸ闭式气浮结构Ÿ直驱零齿槽效应
lŸ定位精度±0.5arc secŸ同步跳动误差10nm
Ÿ精准回零误差Ÿ高速度稳定性
Ÿ最大承载100kgŸ解决气浮抱死问题
应用领域
QFR系列气浮转台轻量化设计、有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差；提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。
结构特点
由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成，最大限度地提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低，减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮抱死的问题，力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm，摆角误差3μrad，最大负载100kg，电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。
闭环反馈
使用圆光栅闭环反馈，分辨率优于0.01arc sec，同时采用高性能控制系统，优化气浮结构，气浮转台能精准回零。
定制化
气浮转台可安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
型号 |
单位 |
QFR-100 |
QFR-200 |
QFR-300 |
|
行程 |
° |
360 |
|||
台面直径 |
mm |
134 |
184 |
284 |
|
通孔直径 |
mm |
16 |
22 |
40 |
|
补偿后定位精度 |
Plus(1) |
arc sec |
±0.5 |
||
标准值 |
±2 |
||||
双向重复定位精度 |
Plus(1) |
arc sec |
≤0.5 |
||
标准值 |
≤1 |
||||
轴向跳动误差(2) |
Plus(1) |
nm |
10 |
||
标准值 |
200 |
||||
径向跳动误差(2) |
Plus(1) |
nm |
10 |
||
标准值 |
200 |
||||
摆角误差 |
Plus(1) |
μrad |
3 |
||
标准值 |
6 |
||||
电子分辨率(3) |
arc sec |
＜0.01 |
|||
最大速度 (空载)(4) |
rpm |
300,（≥1000 定制） |
|||
最大负载 |
轴向 |
kg |
20 |
45 |
100 |
径向 |
12 |
27 |
60 |
||
供气压力(5) |
MPa |
0.5±0.05 |
|||
空气消耗量 |
SL/min |
26 |
35 |
60 |
|
自重 |
kg |
5 |
10 |
26 |
|
材料 |
/ |
航空7075铝合金（表面氧化处理） |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在转动台面上25mm处，测试速度2-10deg/s，Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量，精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如需非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 轴向和径向跳动为同步跳动误差，测微仪和标准球测量，计算为最大值-最小值-标准球误差-同心度。
3. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。
4. 最大转速取决于负载大小，最大定制转速7800 rpm。
5. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
订购信息
型号 |
QFR |
-100 |
-PLUS |
-1 |
-3 |
-Y |
描述 |
气浮转台 |
转动台面直径134mm |
PLUS高精度版 |
增量式光栅1Vpp反馈 |
线缆长度3米 |
有压力保护开关 |
名称 |
型号 |
描述 |
气浮转台 |
QFR |
气浮转台 |
台面 |
-100 -200 -300 |
转动台面φ134mm 转动台面φ184mm 转动台面φ284mm |
精度等级 |
-N -PLUS |
标准值 PLUS高精度版 |
反馈方式 |
-1 -T -ABS |
增量式光栅1Vpp反馈 增量式光栅TTL反馈 绝对式光栅反馈 |
线缆长度 |
-3 -5 -DZ |
长度3米（标配） 长度5米 定制 |
压力保护开关 |
-Y -N |
有压力保护开关（标配） 无压力保护开关 |