北京瑞邦精控科技有限公司

产品特点

lŸ三轴直驱气浮结构Ÿ重复定位精度±50nm

lŸ结构紧凑、精度高Ÿ全行程直线度±0.1μm

Ÿ根据需求可定制Ÿ高柔线缆管理系统

背景介绍

QFL3D系列是一款结构紧凑的三轴气浮运动台，用于飞秒激光加工，超精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学对准等行业，由于非接触式移动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。

结构优势

QFL3D系列是一款预负载结构的三轴气浮运动台，气浮结构已证明是精密应用中的理想选择，适用飞秒激光加工、微纳制造等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是定位抖动，还是速度稳定性，QFL3D系列都是良好的解决方案。

定制化

根据用户的应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如直接在XY轴上增加Z轴，平升Z轴或定制大理石基座、立柱及横梁上侧挂Z轴等。此外可提供激光触发同步输出5V TLL信号。

线缆管理

使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。

洁净室兼容性

气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理也符合实验室环境。

规格指标

型号	单位	QFL3D-50-50-25	QFL3D-100-100-25	QFL3D-150-150-25
轴系	—	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
行程	mm	50	50	25	100	100	25	150	150	25
补偿后定位精度	Plus(1)	μm	±0.1	±0.1	±0.1
标准值	±0.2	±0.2	±0.2
双向重复定位精度	Plus(1)	μm	±0.05	±0.05	±0.05
标准值	±0.1	±0.1	±0.1
直线度(2)	Plus(1)	μm	±0.05	±0.05	±0.1
标准值	±0.25	±0.25	±0.4
平面度(2)	Plus(1)	μm	±0.1	±0.1	±0.15
标准值	±0.35	±0.4	±0.5
Pitch Roll Yaw(2)	Plus(1)	arc sec	±0.35	±0.4	±0.5
标准值	±1	±1	±1.5
电子分辨率(3)	nm	0.3 或 5（选配）
最大速度 (空载)(4)	mm/s	200
最大加速度 (空载)(4)	m/s²	1,（5 定制）
最大负载	kg	5
供气压力(5)	MPa	0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。