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产品特点
ŸXY轴非接触式气浮结构ŸZ轴平升直驱结构
lŸ结构紧凑、精度高Ÿ亚微米级重复定位精度
ŸXY直线度±50nmŸZ直线度1μm内
Ÿ根据需求可定制Ÿ高柔线缆管理系统
应用领域
QFL-XY-SG系列是一款结构紧凑的三轴精密运动台，亚微米精度用于飞秒激光加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
XY轴为非接触式气浮结构，精度高和外形尺寸小等特点，气浮导轨间没有机械接触，免维护运行。Z轴为平升直驱结构，承载能力大，抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，提升直线度性能，可选双闭环反馈的方式，获得高重复定位精度和定位精度。
精度性能
XY轴气浮运动台的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，平升Z轴的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.5μm。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外，可定制带屏蔽高柔线缆，适合环境噪声大的场合。
定制化
XY轴可定制陶瓷材质气浮导轨，直线度可达±50nm。
规格指标
型号 |
单位 |
QFL-50-50-20SG |
QFL-100-100-35SG |
||||
轴系 |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
行程 |
mm |
50 |
50 |
20 |
100 |
100 |
35 |
补偿后定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
|
标准值 |
±0.2 |
±1 |
±0.2 |
±1 |
|||
双向重复定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
|
标准值 |
±0.1 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.25 |
|||
直线度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.05 |
±0.5 |
±0.05 |
±0.5 |
|
标准值 |
±0.25 |
±3 |
±0.25 |
±4 |
|||
平面度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.1 |
— |
±0.1 |
— |
|
标准值 |
±0.35 |
— |
±0.4 |
— |
|||
Pitch Roll Yaw(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±0.35 |
±2 |
±0.4 |
±2 |
|
标准值 |
±1 |
±5 |
±1 |
±5 |
|||
电子分辨率(3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
|||||
最大速度 (空载)(4) |
mm/s |
100 |
10 |
100 |
10 |
||
最大负载 |
kg |
10 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度取决于负载大小。