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产品特点
lŸ非接触闭式气浮结构Ÿ光栅尺闭环反馈
lŸ亚微米级重复定位精度Ÿ直线度平面度优于1μm
Ÿ优化线缆管理Ÿ可定制化设计
应用领域
QFU-A系列是一款闭式气浮导轨的双轴气浮运动台，十字叠层结构用于超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
双轴气浮运动台采用氧化铝气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，十字叠层结构，底轴为三气浮导轨结构，上轴的运动行程尺寸在底轴宽度范围内，防止上轴出现悬空下塌，改善叠层后上轴的精度性能。气浮运动台为非接触式，随着时间地推移，不会出现磨损或性能下降。陶瓷材料弹性模量大、比刚度大，可有效提高系统刚性和带宽，增加控制系统的相位裕度和幅值裕度。
精度性能
双轴气浮运动台的定位精度±0.2μm，重复定位精度±0.1μm，直线度±0.3μm，平面度±0.5μm，Pitch Roll±2arc sec，Yaw±0.8arc sec。
线缆管理
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能，使用高质量的线缆，以确保无故障操作。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨，重复定位精度±15nm。行程可接受定制。
规格指标
型号 |
单位 |
QFU-A-200-200 |
QFU-A-300-300 |
QFU-A-400-400 |
||||
轴系 |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
行程 |
mm |
200 |
200 |
300 |
300 |
400 |
400 |
|
补偿后定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
标准值 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.4 |
±0.4 |
||
双向重复定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.1 |
±0.1 |
标准值 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
||
直线度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.3 |
±0.3 |
标准值 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
±1 |
||
平面度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.2 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
标准值 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
±1 |
||
Yaw(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±0.4 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.75 |
±0.8 |
±0.8 |
标准值 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
||
Pitch Roll(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
标准值 |
±1 |
±2 |
±2 |
±3 |
±3 |
±3.5 |
||
电子分辨率(3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
||||||
最大速度 (空载)(4) |
m/s |
1 |
||||||
最大加速度 (空载)(4) |
m/s² |
5,（10, 20 定制） |
||||||
最大负载 |
kg |
20 |
||||||
供气压力(5) |
MPa |
0.5±0.05 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨不受压力影响，建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。