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产品特点
lŸ非接触式直驱结构Ÿ面式十字叠层结构
Ÿ抗蠕动交叉滚柱导轨Ÿ高动态性能，高精度
Ÿ百纳米级定位精度Ÿ结构可接受定制
应用领域
RBLBAC系列是一款百纳米级精度的双轴精密运动台，具有纳米级微动步距，百纳米级定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、激光微加工、测试测量及光学检测等领域。
结构特点
每轴采用双直线电机驱动，推力大，高动态性能，在低速运行时保持平稳，在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，线线接触，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。平面式叠层式结构紧凑，降低XY轴高度，提升整体精度性能。
精度性能
双轴精密运动台的定位精度±0.3μm，高重复定位精度±75nm，直线度±0.75μm，是高精度场所的理想选择。
精密控制
配合高性能的控制和驱动器，可提供优异的伺服性能、先进的控制算法，从而提高动态性能，控制器有误差补偿功能。
定制化
定制断电抱闸功能，抱闸后位置相比抱闸前位置漂移误差10nm内；定制用于真空环境下的版本，真空度到10^-7Torr；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撑钢架、隔振器等整套运动控制方案。
规格指标
型号 |
单位 |
RBLBAC-100XY |
RBLBAC-200XY |
RBLBAC-300XY |
|
行程 |
mm |
100 x 100 |
200 x 200 |
300 x 300 |
|
补偿后定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.1 |
±0.15 |
±0.3 |
标准值 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.75 |
||
双向重复定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
标准值 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||
直线度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.4 |
±0.5 |
±0.75 |
标准值 |
±1 |
±1.5 |
±2 |
||
平面度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.75 |
±1 |
±1.5 |
标准值 |
±1 |
±1.5 |
±2 |
||
Pitch Roll(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±3 |
±4 |
±5 |
标准值 |
±6 |
±7.5 |
±9 |
||
Yaw(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±1.5 |
±2 |
±2.5 |
标准值 |
±3 |
±4 |
±5 |
||
电子分辨率(3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
|||
最大速度 (空载)(4) |
mm/s |
300 |
|||
最大加速度 (空载)(4) |
m/s² |
2,（5, 10 定制） |
|||
最大负载 |
kg |
20 |
40 |
50 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。