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产品特点
Ÿ叠层式布局Ÿ纳米级微动步距
Ÿ紧凑型中空结构Ÿ高动态性能，高精度
Ÿ双直驱电机驱动Ÿ集成式线缆管理
应用领域
RBZK系列是带中空结构的精密运动台，大尺寸通孔、高动态性能满足晶圆检测应用，同时适用于CCD成像、LED封装检测等其它高端制造等行业。
设计特点
RBZK系列双轴中空精密运动台，叠层紧凑的中空外形结构，工作点位置降低，光栅反馈位置接近工作表面，在晶圆检测中至关重要。高精度滚柱导轨和精密研磨的加工表面，专业的装配工艺，获得直线度±1μm，平面度±2.5μm。
光栅反馈
每轴采用双光栅尺闭环反馈，安装位置接近工作表面，能够有效地降低系统误差影响，提升整体精度性能。可选电子分辨率0.3nm或5nm。
双驱结构
每轴用双直线电机驱动，龙门交叉解耦控制算法，保证双电机的运行的一致性，提供大推力、速度1m/s和准确的定位，直线电机的温度控制在室温，比滚珠丝杆传动结构的运动台，性能有了提升。
线缆管理
使用高质量无尘拖链，优化管线弯曲半径，防止动作过程中影响其性能，同时也适用在洁净室内。
规格指标
型号 |
单位 |
RBZK-150XY |
RBZK-250XY |
RBZK-300XY |
|||
轴系 |
轴系 |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
行程 |
mm |
150 x 150 |
250 x 250 |
300 x300 |
|||
补偿后定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
||
标准值 |
±1 |
±1 |
±1 |
||||
双向重复定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
||
标准值 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
||||
直线度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.7 |
±0.7 |
±1 |
||
标准值 |
±1 |
±1.5 |
±2.5 |
||||
平面度(2) |
Plus(1) |
μm |
±1.25 |
±1.75 |
±2.5 |
||
标准值 |
±1.25 |
±1.75 |
±2.5 |
||||
Pitch Roll Yaw(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±3 |
±5 |
±5 |
||
标准值 |
±4 |
±6 |
±7 |
||||
电子分辨率(3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
|||||
最大速度 (空载)(4) |
m/s |
1 |
|||||
最大加速度 (空载)(4) |
m/s² |
5,（10, 20 定制） |
|||||
最大负载 |
kg |
20 |
30 |
50 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。