准源激光技术河北有限公司

产品型号：ZYJG-2000。

激光清洗系统产品说明：

        Ex-light是新一代准分子激光清洗系统。采用了德国Mlase超稳定的低功率准分子激光器，通过光束传导、匀化、投影技术，使激光均匀照射到材料表面，对材料进行紫外激光加工。该系统结构设计紧凑，集成度高，光路稳定实用，光斑匀化效好，传输效率高，增强样品表面激光能量密度，提高加工质量和效率。

准分子激光器：

       逐层去除、非接触式、无二次污染、无损耗。

应用行业：

        1、微电子行业：晶圆面板激光清洗、电路板清洗；

        2、OLED微型显示器芯片：芯片管脚PAD焊线前激光清洗、液晶显示器清洗；

        3、文物艺术品保护：无损还原；

        4、汽车产业：各种焊接处焊后激光清洗；

        5、其它：材料表面各种杂质、氧化物、微小颗粒物、油污去除。

技术特点：

1、DUV准分子激光器，短脉宽，高峰值功率；

2、静态气体寿命 >30天；

3、激光器寿命 >20亿次脉冲；

4、多种光路方案，可定制；

5、反射/透射照明；

6、X，Y位移台安装在刚性花岗岩基座上，线性驱动，1μm分辨率 ；

7、电动焦点控制（沿Z轴）；

8、配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选 ；

9、快速响应时间，易于操作的软件；

10、同轴机器视觉示意图，所见即所得。

光束传播特点：

1、能量控制 10-80% ；

2、投影缩倍4x-20x ，可定制；

3、工作距离>25mm；

4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ；

5、同轴显微成像；

6、光斑匀化系统。

光路匀化介绍：微透镜阵列匀光成像示意图
晶圆清洗监控界面-所见即所得	加工代码、路线、导航界面	准分子激光传输/照明/机器视觉系统示意图
Mlase准分子激光器：采用德国Mlase准分子激光器作为光源，能量输出稳定，光束质量好，有较短脉冲宽度和较高峰值功率。免维护设计，使用简便、安全、稳定、高效。

软件功能：

图形化加工路径显示

晶圆自动聚焦、自动对位

大视野晶圆导航图

激光参数设定及调试

加工进程控制、中断自动恢复

芯片参数导入

坏点剔除功能

参数：