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	准分子激光剥离系统：结构紧凑、光斑匀化效果好、传输效率高技术特点：1、193/248/308nm 激光器，短脉宽，高峰值功率；2、静态气体寿命 30 天；3、激光器寿命 5亿次脉冲；4、最高能量密度 1	2024-08-10