光学掩模板_光学掩模板定制加工
光刻掩膜版(又称光罩,英文为Mask Reticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。
掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成电路)、FPD(Flat Panel Display,平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等。
掩膜版的分类
透明基板
1、透明玻璃 。石英玻璃(Quartz Glass)苏打玻璃(Soda-lime Glass)低膨胀玻璃(Low Expansion Glass)
2、透明树脂
遮光膜
(1)硬质遮光膜:铬膜氧化铁硅化钼硅。
(2)乳胶。
材料厚度(公制):
0.03mm,0.05mm,0.08mm,0.06mm,0.1mm,0.12mm,0.15mm,0.18mm,0.2mm
产品特点:
激光加工线条均均,无毛剌,无缺口
产品价格:
以材料材质、厚度、精度要求、量产数量综合核定
加工能力:可大批量加工
样品提供:
付费打样,样品3天内,最快24小时出样,量大可申请免费样品
梁经理