微激光钻孔是工业中最常见和最常用的激光加工之一。各种各样的激光光源类型可以处理各种材料（金属、陶瓷、半导体、聚合物和有机材料等），具有前所未有的可重复性、准确性和速度。微钻孔在许多行业中都很突出，例如汽车、航空航天和电子，甚至激光手术和食品行业。例如，该工艺能够将高纵横比钻孔降至微米级，最近已为汽车行业开发了新的喷嘴，将发动机燃油效率提高到30％。

超短脉冲激光器通常以高重复频率（有时每秒超过十万个脉冲）提供短而强的光脉冲。这些激光器的突出特点，是它们可以在极短的时间内，大约一皮秒（10-12秒）到几十飞秒（10-15秒），集中脉冲的发光强度。每个脉冲都带有一定量的能量，但其短促性使其能够获得相当高的峰值功率（高达几十瓦）。

另一种常用的形状是贝塞尔光束，它使传播的能量在长距离上强烈聚集在小而细长的区域中。因此，对于具有高纵横比（深度与直径比远大于10:1的孔）的小直径孔（有时直径小于微米）的钻孔特别有用。该形状特别用于加工透明材料，8例如玻璃或蓝宝石。对于更具体的应用，可能需要产生更特定几何形状的光束，例如使用无掩模光刻来加工光子晶体或电子微元件。

最近，多平面光转换（MPLC）技术在光束整形方面提供了大量的自由度，同时具有高转换效率（> 95％）。MPLC技术自2013年开始由法国CAILabs公司开发，在整形参数、景深和能效方面取得了创纪录的成果。它可以为激光行业生成标准形状，例如平顶和贝塞尔光束，以及针对更具体应用的定制形状，无论使用何种波长。此外，它还提供了新功能，例如多个光束的合束整形，可以生成复杂的形状。