原理
激光划片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。
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应用领域
激光划片机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料划片和切割,可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等,工件精细美观,切边光滑。采用连续泵浦声光调Q的Nd:YAG激光器作为工作光源,由计算机控制二维工作台,能按输入的图形做各种运动。输出功率大,划片精度高,速度快,可进行曲线及直线图形切割。
型号分类、特点及应用
光纤激光划片机
产品特点
·高配置:采用进口光纤激光器,光束质量更好(标准基模)、切缝更细(30μm)、边缘更平整光滑。
·免维护:整机采用国际标准模块化设计,真正免维护、不间断连续运行、无消耗性易损件更换。
·操作方便:设备集成风冷设置,设备体积更小,操作更简单。
·专用控制软件:专为激光划片机而设计的控制软件,操作简单,能实时显示划片路径。
·工作效率高:T型台双工位交替运行,提高工作效率.最大划片速度可达200mm/s。
应用及市场
太阳能行业单晶硅、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片和硅片的划片(切割、切片)。
半导体激光划片机
产品特点
高配置:采用进口新型半导体材料,大大提高电光转换效率。
运行稳定:全封闭光路设计,光钎传输,确保激光器长期连续稳定运行,对环境适应能力更强。整机采取国际标准模块化设计,结构合理,安装维护更方便简洁。
高效率:低电流、高效率。工作电流小,速度快(达220mm/s)基本做到免维护,无材料损耗,零故障率,运行成本更低。
应用及市场
太阳能行业单晶硅、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片和硅片的划片(切割、切片)。
YAG激光划片机
产品特点
高端配置:核心部件(聚光腔)采用进口新型材料,大大提高电光转换效率,·激光器采用新一代的金属镀金聚光腔,避免脱金,更耐用。
专业控制软件:操控软件根据行业特点专门设计,人机界面友好,操作方便,·划片轨迹显示,便于划片路径的设计、更改、监测。
运行成本低:工作电流小(小于11A),速度快(达140mm/s)延长氪灯使用寿命,减少维护,减少材料损耗,降低故障率,降低运行成本。
人性化设计:独有提示功能,确保易损件及时更换。
应用及市场
太阳能行业单晶硅、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片和硅片的划片(切割、切片)。
国内外发展状况
2000年武汉三工光电设备制造有限公司首台激光划片机问世,可以完全替代进口
2007年华工激光自行研发成功具有自主知识产权的晶圆紫外激光划片机。
2008年LED紫外激光划片机由华工激光研发成功。
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