采用分光镜是常见的手段。分光镜有两种，立方体分光镜和园形分光镜。立方体分光镜的优点是不引入光程差和光轴偏移。不管是什么分光镜，最后都会有5%左右的分光偏差，因此需要采用不同的方式进行补偿或者衰减。
下面是简单的50%: 50%的分光方式

另外一种分光方式比较复杂，需要较多的光学镜片，其中激光经过一个非偏振敏感的分光镜，然后经过1/2波片调整方向后进入一个偏振敏感的分光镜分出p光，再经过1/4波片转换为圆偏振光。圆偏振光各个方向能量分布均匀，因此工作效果均衡，在多数场合得到高品质的效果。由于两边有分光差距，最后通过原盘衰减器，得到理想的能量。

　第二种方式由于可以调整的光学镜片较多，因此可以得到均衡的分光比例和光束能量。