QFL-FH系列气浮运动台_HTH登陆入口网页 _HTH登陆入口网页的范围_hth官网注册 _

产品特点

lŸ非接触开式气浮结构Ÿ行程25~150mm可选

lŸ重复定位精度±50nmŸ直线度±0.1μm，平面度±0.15μm

lŸ摆角误差±0.5arc secŸ带防护罩防尘装置

应用领域

QFL-FH系列气浮运动台带防护罩装置，可作为单轴使用，或与其它轴组装成多轴系统，用于超精密加工，金刚石单点车等加工行业。

结构特点

QFL-FH气浮运动台主要采用气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，开式气浮导轨，永磁预载，多孔与小孔相结合的方式，侧向刚度大，适用于超精密加工等行业。气浮导轨可根据客户需求定制多种版本，有航空铝合金版、大理石版、氧化铝版及碳化硅版。最高直线度可达0.1μm内，重复定位精度最高可达±15nm。

精度性能

气浮导轨基于气体静压效应，实现无摩擦和无振动地平滑移动，QFL-FH系列气浮运动台，行程25~150mm可选，定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch、Roll及Yaw ±0.5arc sec，由于非接触式移动，高精度直线光栅闭环反馈，系统跟随误差有了质地提升。

防尘设计

采用独特的密封装置，最小阻尼系数不影响精度性能，在应用中防止异物进入气浮导轨。

定制化

可定制碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能。

规格指标

型号	单位	QFL-FH-25	QFL-FH-75	QFL-FH-100	QFL-FH-125	QFL-FH-150
行程	mm	25	75	100	125	150
补偿后定位精度	Plus⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
标准值	±0.1	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2
双向重复定位精度	Plus⁽¹⁾	μm	±0.025	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05
标准值	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
直线度⁽²⁾	Plus⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
标准值	±0.1	±0.25	±0.25	±0.4	±0.4
平面度⁽²⁾	Plus⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15
标准值	±0.25	±0.35	±0.4	±0.5	±0.5
Pitch Roll Yaw⁽²⁾	Plus⁽¹⁾	arc sec	±0.25	±0.35	±0.4	±0.45	±0.5
标准值	±0.5	±1	±1	±1.5	±1.5
最大速度 (空载)⁽⁴⁾	mm/s	50	100	300	300	300
电子分辨率⁽³⁾	nm	0.3 或 5（选配）
最大加速度 (空载)⁽⁴⁾	m/s²	1,（≥5 定制）
最大负载	kg	15
供气压力⁽⁵⁾	MPa	0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。