美国APC公司在今天对外宣布:我们终于突破了中国人的技术封锁,掌握了KBBF单晶制备工艺!这项技术是在1996年,由中国科学院理化所院士陈创天利用KBBF单晶体在国际上首次获得深紫外全固态激光。该激光对微纳加工、微观探测、物质检测、超导研究等有重要价值。由于国外在此领域没有获得实质性突破,2009年开始中国就此技术不在对国外进行技术交流和相关内容展示-将而言之技术封锁!
肯定有读者说小编你又忽悠我,中国什么可能超越美国呢?还能对美国技术封锁?实际上这个问题要从深紫外激光本身特性来说明,深紫外激光的是不相干性最好的激光。我们都学过物理,物理中光是广波形式存在的,有波存在就有相互干涉的情况。而深紫外激光就是人造激光光源中难得好光源,有了这样的光源对于精密加工测量有着重大的意义,加工精度更高,测量范围更准。不过整套深紫外激光发生光学系统和我们常见的紫外激光也不一样,因为绝大多数材料对于深紫外是不透过的,以至于要制造这套设备,单台造价成本就要上千万美元。国外虽然曾经投入巨资研制同类系统,不过因为太过昂贵,而且已经量子的极限,所以只能放弃。而中国人的锲而不舍,终究把这个东西给做出来了。
这次这个美国APC公司掌握的KBBF全称为氟硼酸铍钾(KBe2BO3F2),是一种非线性无机光学晶体。最早是由中国科学院理化所经过15年的研究首次开发成功。这种晶体是目前唯一可通过直接倍频方法实现深紫外谐波光输出的非线性光学材料。KBBF晶体能够缩短激光的波长,装备该晶体的各种激光器能发出具有极窄频宽的紫外光波。简单的讲,就是用最低的材料成本价格,来获得深紫外光源。这一突破被美国人称之为战略级物质突破,全美就此一家!不少研究人员喜极而泣,终于拿下了中国人20年前的研究成果了。
深紫外激光光源可以用来建造超高分辨率的物理探测观测设备,还可能把现有光刻机的精度提升10倍以上,这事对未来的微纳米技工产业,生物医学,激光电视等前瞻性领域产生决定性的影响。这家美国公司认为此次他们突破了KBBF单晶,性能比中国高,成本比中国低,是美国国防研究和国土安全领域的一大突破!听起来这个剧本貌似拿错了,以前这些话都是中国人在说啊。
至于中国手握这项技术到底实用性在哪?估计广大媒体都可能没注意到,就是制造CPU所必须的光刻机!这个被誉为光学工业之花,他的光源现在就是深紫外激光!而中国的光刻机现在进展如何了?一则小小的新闻会告诉我们答案。
2016年1月29-30日,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(简称02专项)实施管理办公室在清华大学组织召开了“光刻机双工件台系统样机研发”项目的专项内部验收会。02专项““光刻机双工件台系统样机研发”项目日前通过专项内部验收会。项目突破了平面电机、微动台、超精密测量、超精密运动控制、系统动力学分析、先进工程材料制备及应用等若干关键技术,攻克了光刻机工件台系统设计和集成技术,最终研制出2套光刻机双工件台掩模台系统α样机,并通过了相关测试。
什么意思?完全中国自主知识产权的CPU光刻机已经完成了所有部件的国产化工作并且通过了相关测试,这可以确保我们在32nm以下CPU技术领域再也不用看别人的脸色行事。虽然现在只是α样机,距离实际工业化仍然有一定的差距。不过只要我们逐项公关,补齐全部的高新领域短板,剩下事情就看系统整合能力了。这也正是我们现在工业4.0时代所要求的目标,加速整合现有现有技术,集中攻关,最终获得国防工业和民用产业的双丰收!
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