之前的工作通过将微环芯腔分别制备在两片硅片的边沿上来构建可调的耦合微腔系统并实现了声子激光。然而这样的一种样品制备方案很难得到极细且中心对称的支撑硅柱,因为它很难保证硅的各向同性刻蚀。而各项异性刻蚀不但会降低微环芯腔的力学品质因子,其所导致的硅柱的缺陷还将严重影响到微环芯腔的力学模式,从而在其力学模式的噪声谱引入一些谐波峰。
为了实现同时具有光学和力学优异性能的耦合微腔系统,最近南京大学固体微结构国家实验室的姜校顺副教授和肖敏教授所领导的研究组通过利用一种新的样品制备和耦合的方案,演示了同时具有高的光学品质因子和力学品质因子的耦合微腔系统,并基于此系统实现了超低阈值的声子激光。相关研究成果发表在Photonics Research 2017年第5卷第2期上(G. Wang, et al.,Demonstration of an ultra-low-threshold phonon laser with coupled microtoroid resonators in vacuum)。
在此工作中,耦合微腔系统包含一个倒置的微环芯腔和一个由极细硅柱支撑的微环芯腔。 倒置的微环芯腔被制备在硅片的角上,另一个微环芯腔则经过了一次额外的XeF2刻蚀以得到极细的硅柱。将整个耦合微腔系统放置到超高真空系统中,实验获得了力学品质因子高达18,000的径向呼吸模(频率为59.2 MHz)。通过精细地调节系统的各项参数,如微腔的相对位置、各自的温度等,可以得到一个模式劈裂等于径向呼吸模式力学频率的超模,将抽运激光通过波长计锁频在蓝失谐超模上从而激发声子激光。实验测得的声子激光阈值低至1.2W。
这样一个片上的耦合微腔系统在很多方面有着应用潜力,如多模腔光力学冷却、多模光力诱导透明、可寻址的量子信息处理等。
图片说明:真空环境中基于耦合微腔系统的超低阈值声子激光方案。通过利用新的样品制备和耦合的方案,该耦合微腔系统可同时具有高的光学品质因子和力学品质因子,并实现超低阈值的声子激光。
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