因为每一个聚焦镜都有对应的焦深范围，而采用偏离焦点的办法会容易导致大范围标刻图案时，边缘处在焦深临界点或者超出焦深范围，这样就比较容易造成效果的不均匀性。因此，偏焦标刻的方法须考虑激光能量的问题。

激光输出头、固定夹具与振镜等未调好，导致激光经过振镜头时部分光斑被遮挡，经场镜聚焦后在倍频片上所呈现的光斑为非圆形，这样也有可能会导致效果不均匀。　　

还有一种情况，即振镜偏转镜片有损伤，当激光光束通过镜片损伤区域时，无法很好地反射出去。因此，激光束经过镜片损伤区域与镜片无损伤区域激光能量有不一致，最终作用在材料上的激光能量也不一样，从而使标刻效果不均匀。　

当激光通过光学镜片（折射、反射）时，会使镜片发热产生细微的形变。这种形变会使激光聚焦焦点上升，焦距变短。若机台固定，将距离调整到焦点处时，开激光一段时间后，会因为热透镜现象而使作用在材料上的激光能量密度发生变化，从而导致标刻效果不均匀。　　

由于二者不水平，会导致激光光束通过场镜后到达加工物件上的距离长短不一致，最终激光落在加工物件上的能量会有不一致的能量密度，此时就会在材料上表现出效果的不均匀。　

材料对激光能量反应比较敏感。通常在同种材料下，激光能量达到材料破坏阈值是一定的。当材料镀膜厚度不一，或有一些其他物理化学处理工艺不够均匀时，同样也会造成激光标刻后的效果的不均匀。