2019年除了5G技术，柔性可折叠屏幕也成为今年手机行业的热门话题。近日，手机厂商三星、华为先后分别发布了Galaxy Fold、HUAWEI Mate X折叠屏手机，而柔宇科技和小米先后展示了正在研发的可折叠手机真机。另一边，OPPO与华为则显得更加含蓄，二者表示把可折叠手机均保留在MWC 2019（世界移动大会）上发布。苹果虽然没有直接“参战”，但也一直暗自在布局可折叠手机的相关技术。据CNET报道，苹果日前再一次更新了一项关于可折叠iPhone的专利，它展示了使用折叠屏幕的各种方式……

折叠手机的出现，打破了手机和平板的界限，同时还支持5G应用，这也标志着电子信息产业的里程碑式变革到来。折叠屏手机新性能对生产加工工艺也产生了更高的要求。其中，约70%的手机加工链和制造环节都用到了多种不同的激光工艺。

在柔性OLED生产过程中，激光加工对各段制程起着至关重要的作用，并且激光以其灵活高效成为柔性化生产线的首选。目前，柔性屏及各种可穿戴电子已经成了消费电子行业的趋势之一，柔性材料的多层结构，使得加工柔性材料成了高精尖的难题。随着超快激光技术的成熟、成本的降低，使其激发在加工柔性材料中的应用潜力。

柔性显示面板生产中的激光剥离工艺

在柔性幕方面，LLO激光取下技术是将柔性PI基底和玻璃背板剥离的关键工序。在OLED全制程中，激光修复技术可以有效提高面板制造良率。以上这些，都是激光技术在OLED面板制造中的应用。

柔性显示面板或超薄半导体晶片批量生产的常规方法为：先在涂覆聚合物的刚性玻璃载体上刻写电路，并在最终工艺步骤中将器件从载体上剥离。其技术方案为——将紫外准分子激光器的线光束透过玻璃基板载体，照射在聚合物层上。

由于激光的波长很短，材料对激光的吸收率很高，只有紧邻玻璃基板的聚合物被蒸发，从而实现了基板与器件的分离。采用308nm准分子激光器进行激光剥离时，激光脉宽约为25ns，需要的能量密度约为200J/cm²。此外，由于激光波长较短，吸收率很高，剥离过程中无需制备额外的过渡层来增强激光吸收。

激光剥离工艺是更好的选择

实践证明，许多常规的刚性载体分离技术并不适合用于规模化生产。例如，机械剥离技术和化学蚀刻工艺，其生产效率低，局限性大，而且生产良率也不高。甚至，后一种方法还会对环境产生危害。

相比之下，激光剥离工艺则是更好的选择。为了将激光吸收限制在聚合物与玻璃载体界面附近，该工艺要求使用波长尽量短的激光(波长短于350nm)。由于准分子激光器具有波长短(激光剥离工艺中常用的是308nm以及248nm)、能量和功率高的特点，因此在精密微电子器件生产中，采用准分子激光器进行激光剥离，不仅良率高，而且产量大，完全可以满足微电子市场的批量化生产需求。

事实上，短波长准分子激光器系统配合高质量的线光束光学器件，对于批量化生产而言是至关重要的：激光剥离技术通常用于高价值元器件的制备;激光剥离工艺位于一系列高成本工艺步骤之后;激光剥离工艺是许多高价值元器件和相应的零部件制备的核心技术;在柔性屏的制备中，激光剥离工艺1%的不良率，就会造成每年高达数百万美元的利润损失。

柔性屏激光切割工艺技术

折叠屏手机从原来一块玻璃屏幕变成了两块玻璃屏幕，玻璃的用量翻了一倍。采用传统的机加方式切割玻璃容易发生崩边、裂纹等问题。相较之下，激光切割工艺采用非接触式加工方式，适用于薄玻璃及超薄玻璃加工，具备可实现异形切割，具有切割边缘崩边小、精度高等优点，且大幅提高了工件良率及加工效率。

随着OLED柔性显示技术大势已定，越来越多的激光企业开始布局新战略：

据了解，相干公司推出了新一代具有高脉冲重复频率的超短脉冲激光器HyperRapid NX，可在最高1,600 kHz的重复频率下提供30W的紫外光平均功率，从而成为OLED切割应用的标杆。

大族显示与半导体自主研发的国内首台柔性OLED激光切割设备在6月正式投产，这款设备集分切、倒角、检测于一体，主要应用于OLED高分子聚合材料的激光切割，推动了柔性显示技术的快速发展。

华工激光研发了一款OLED面板玻璃异形全自动切割机配有皮秒激光器，专为OLED面板的快速切割而开发，并集成自动化光学检测/超声波裂片等工艺，适用于批量化生产。

结语：随着手机行业发展需求不断变化，激光加技术为适应变化也在面临着更新升级。由于柔性屏生产工艺中大量使用固体激光器（DPSS），未来几年国内新建柔性屏生产线的投入将达3000亿元，这将产生大量新增固体激光器需求，同时也激发着激光在柔性屏制造中的应用潜力。

文稿/ cici