Physik Instrumente GmbH (PI)公司将在慕尼黑光电展上展示大量的运动与定位解决方案产品线。聚焦点是激光材料加工的建立和光电与光学部件的快速自动对准。
在展会上来自PI的最大展出是双面光纤校准系统集成,以龙门装置呈现,被用于安装几个耦合站 以集成光电元件(PICs)。这一研究描述了这些步骤如何、至今占据了大部分PIC的生产成本,可以自动化与大大加速。
PI 将展示多轴运动系统分离芯片,借助激光切割。空气轴承转动与平面扫描仪在该系统中实现统一的高速和重复性,精确分离单个芯片。
另一个展示的是激光加工(钻孔、打标)工件的系统,其格式超过了扫描仪图像。为了在不缝合的情况下连续加工如此大的工件,可以同时控制振镜扫描仪、激光器和附加的xy定位系统。这使得加工期间的产出量和精度更高。
除了这个展品外,6月24日起在慕尼黑光电展上还可以现场观看这三个装置。
带双面光纤对准系统的机架设置
龙门架内的F-712.HA2双面光纤对准系统负责将玻璃纤维耦合到光电子芯片上。龙门架将组件放在耦合站上,然后再次将其取出。
激光加工大尺寸工件
PI提出了一种同时控制扫描器、激光器和xy平面扫描器的系统,用于无缝激光加工大于振镜扫描仪幅面的大尺寸工件。
用激光切割晶圆
用激光切割晶圆时,必须具有高精度的直线度、平整度和重复性。PI为这项任务提供了一个紧凑的,洁净室兼容的设置,包括空气轴承旋转平台和空气轴承平面扫描仪平台。
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