主要用于激光钻孔应用的激光器是 CO2、Nd:YAG、准分子和铜蒸气激光器 (CVL)。
CO2激光
脉冲模式的 CO2 激光器可用于金属和非金属的钻孔。然而,尤其是在金属上钻小孔和/或深孔时,Nd:YAG 激光器更适合,因为它在较短波长(Nd:YAG 为 1.06µm,CO2 为 10.6µm)下具有更好的能量耦合,并且峰值功率更高和脉冲重复率,中低功率 CO2 激光器主要用于非金属钻孔应用和陶瓷划线(即一系列孔)。
Nd:YAG 激光器
Nd:YAG 激光器(基波波长 1.06µm)是用于金属激光钻孔的主要激光器,主要应用无疑是航空发动机部件(涡轮叶片、燃烧室等)的冷却孔钻孔。使用非线性晶体(提供倍频),即缩短激光波长,Nd:YAG 激光器也可以在光谱的可见光或紫外 (UV) 部分工作。
准分子激光器
准分子激光器发射光谱紫外部分的激光,主要用于精密钻孔、仿形和微加工,如微电子行业中印刷电路板/印刷线路板的微孔钻孔。它们也最适合在一个或几个步骤中制作孔阵列。由于低脉冲重复率,准分子激光器不太适合用于金属。
铜蒸气激光器 (CVL)
基本 CVL 产生光谱可见部分(绿色和黄色)的激光, CVL 固有地以非常高的重复率脉冲。 CVL 与准分子激光器一样,用于精密钻孔、仿形和微加工。 CVL 可用于大多数材料,包括金属。
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