上海光机所在激光高精度修形理论及工艺研究中取得新进展

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上海光机所在激光高精度修形理论及工艺研究中取得新进展

hth官方来源：上海光机所2023-05-26我要评论(0)

近期，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心实验室在激光高精度修形理论及工艺研究中取得新进展。研究首次证明了激光修形技术可以在近无应力条件下...

近期，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心实验室在激光高精度修形理论及工艺研究中取得新进展。研究首次证明了激光修形技术可以在近无应力条件下，实现纳米精度全频段误差一致性收敛。相关研究成果以“Densi-melting effect for ultra-precision laser beam figuring with clustered overlapping technology at full-spatial-frequency”为题发表于Optics Express。

图1 全空间频率误差收敛的激光修形示意图；（a）“致密化-熔融”效应；（b）重叠集束工艺；（c1，c2）面形误差；（d1，d2）微米尺度粗糙度误差；（e1，e2）纳米尺度粗糙度误差（f）功率谱密度曲线。

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