随着新兴技术、高性能计算、5G、物联网等应用市场爆发,不同应用的需求功能越来越多,集成器件也更加繁杂,封装技术的发展同样需要满足电子产品小型化、轻量化、多功能、低功耗、高性能等需求。在此市场环境下,先进封装凭借成本低、良率高、芯片集成度高的优势,逐步挤占传统封装的市场份额,有望成为主流的技术方向。
传统封装和先进封装的制程差异缩略图
晶圆级芯片分选机,是Wafer to Tape形式的芯片分选设备,致力于提供高水准、高精度、100%AOI视觉一站式分选解决方案。其主要功能是:对芯片的六个面进行外观检查、缺陷判定和分选编带,每小时效率可达40K,适用于倒装封装、晶圆级封装等半导体先进封装工艺,是半导体先进封装设备国产替代重要的一环。
在工艺流程上,设备应用于半导体芯片先进封装制程的最后一道工序,即对接着切割流程,是半导体芯片生产过程中必不可少的环节。其工作流程如下:
晶圆级芯片分选机工作流程图
设备配置高速高精度直线电机平台,由直线电机直接驱动,配套光栅反馈系统,重复定位精度±2μm,可快速精准定位;UPH最高可达45K(包含100%视觉检测),放置精度误差仅20μm。
● 设备可兼容6寸、8寸、12寸的晶圆;
● 可适用产品范围:0.5x0.5mm(min),9x9mm(max);
● 当更换不同规格产品时,只需整个编带组件移出到机台外侧即可,最快可实现1小时复机。
顶针、吸嘴、编带间配置自动对位系统,可快速检测并校正吸嘴和吸嘴、吸嘴和顶针、吸嘴与编带间的位置偏差,使原本复杂费时的产品更换和调试时间大大缩短,新产品调试更快更简单;且可实现精准吸取、放料,确保高效安全生产。
可分离的扩膜驱动系统
晶圆只在特定位置扩膜,避免晶圆在生产调试过程中移位撞击吸嘴,减少芯片在释放过程承受机械压力所带来的产品损耗,使产品更安全。
出色的高精度的AOI视觉检测
● 晶圆级芯片分选机的自动光学AOI检测技术,可以自动定位和检测晶圆芯片,配置不同倍率的高解析度镜头,最小可检测2μm左右的瑕疵尺寸。
● 为了进一步提高晶粒产出质量,晶粒分选环节进行全程检测,包括:晶粒入编前AOI六面检,入编后正面检、封膜前后效果检测。
模块化开发设计,安装维护更便捷
● 结构上实现模块化设计,方便一体式拆装;
● 设备电气控制部分线路采用端子插排,气管的走线美观清晰,维护简单高效,总线控制方式更换电机驱动方便快捷。
芯片分选领域,品牌分选机最优之选,毋庸置疑---大族分选机
● 优秀的研发与设计能力;
● 严格品质管控;
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