近期，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心实验室在激光近无应力烧蚀理论及工艺研究中取得新进展。

研究首次揭示了激光烧蚀过程中加工形貌及残余热应力的分布行为及演变规律。研究建立了激光烧蚀的三维多物理场耦合模型，通过光学迟滞和应力双折射对烧蚀后的热应力进行了量化，成功获得了有/无热应力的加工判据。

同时，该模型揭示了不同加工参数下应力及形貌的时间/空间分布及其演变规律，得到的模拟结果与实验结果吻合较好，误差小于10%。本研究有助于深入了解激光烧蚀过程，为实现高表面质量和近无热应力的激光烧蚀奠定了理论基础，对光学元件超精密制造有重要意义。相关研究成果发表在Optics Express上。