30W纳秒紫外激光器
Marble UV-30
产品背景
随着激光精细微加工技术在高精尖元器件制造领域的广泛应用,工业产品向微型化、精密化、高性能化方向发展,半导体、消费电子、生物医学等尖端科技领域对于激光加工精度、加工效率、热影响区域控制等方面提出了更高要求。
在此背景下,贝林激光推出新品30W纳秒紫外激光器(Marble UV-30)。新款采用先进的谐振腔设计及腔内热补偿技术,可实现稳定的紫外激光输出。此外,其高精度、高效率、高稳定、高灵活的“四高”特点,使其成为微纳加工领域的又一利器,助力优化激光精准加工方案。
PART 01 - 产品优势
Product Superiority
高精度加工
优秀的光束质量
Marble UV-30的光束质量M2<1.3,确保加工过程的高精度。
频率60kHz,在距出光口300mm位置实测光斑圆度为98.73%。
在精密加工时,如微电子、半导体等领域,可获得更为准确和精细的切割、打孔或蚀刻效果。
短脉冲宽度
激光脉冲宽度小于25ns@60kHz,激光能量在短时间内集中,实现高精度微加工。
频率60kHz,实测输出脉冲宽度为12.51 ns。
高效率加工
高功率输出
Marble UV-30具备高达30W@60kHz的输出功率,为各种加工应用提供稳定高效的激光能量,缩短加工过程,显著提高生产效率。
输出功率及脉宽随着频率变化的表现
高效能量转换
Marble UV-30采用高效的谐波转换技术,提高了激光能量的转换效率,降低能耗和运营成本。
高稳定性
先进的谐振腔设计和腔内热补偿技术
使得Marble UV-30在高功率运转下依然能够保持稳定输出,保证加工过程的连续性和一致性。
24h功率稳定性测试,频率60kHz,实测功率波动RMS小于0.5%。
三倍频晶体支持换点
独特的倍频及和频模块,配合特殊的晶体保护措施,同时三倍频晶体支持换点功能,显著延长晶体使用寿命,降低用户维护成本。
高灵活性
多种控制方式
Marble UV-30支持RS232控制、外部GATE和TRIGGER控制等多种控制方式,为用户提供了灵活的操作选择。
直观的操作界面
操作界面直观易懂,用户可以轻松上手,快速掌握设备的操作方法。
PART 02 - 技术参数
Technical Parameter
Marble UV-30 | |
波长 | 355nm |
功率 | 30W@60KHz |
单脉冲能量 | 500μJ@60kHz |
频率 | 60~300kHz |
脉宽 | <25ns@60KHz |
光斑模式 | TEM00 (M2<1.3) |
光束直径 | 0.8±0.2mm |
功率稳定性 | <3% RMS over 8 hours |
脉冲稳定性 | <3% RMS over 10 mins |
光点稳定性 | <50μrad |
光束发散角 | <2mrad (full angle) |
光斑圆度 | >90% |
控制方式 | RS232, Gate, Trigger |
制冷方式 | Water-cooling |
偏振方向 | Horizontal |
偏振比 | >100:1 |
环境温度 | 15°C ~ 35°C |
预热时间 | <30 mins |
工作电压 | 90V ~ 260V |
PART 03 - 应用案例
铜箔材料切割
PC材料切割
皮革材料切割
PCB材料切割
FPC材料打标
硅胶材料打标
二维码标记
塑料材料打黑
激光技术的发展历程是一个不断追求更高精度、更高效率和更广应用范围的过程。贝林激光在超快激光技术领域将持续创新和突破,积极推动加工产业转型升级。
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