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苏州科韵激光取得一种 LED 晶圆片切割专利

hth官方 来源:金融界2024-08-26 我要评论(0 )   

8 月 25 日消息,天眼查知识产权信息显示,苏州科韵激光科技有限公司取得一项名为“一种 LED 晶圆片的切割方法、系统及设备“,授权公告号 CN114346478B,申请日期为 20...

8 月 25 日消息,天眼查知识产权信息显示,苏州科韵激光科技有限公司取得一项名为“一种 LED 晶圆片的切割方法、系统及设备“,授权公告号 CN114346478B,申请日期为 2022 年 2 月。

专利摘要显示,本发明公开了一种 LED 晶圆片的切割方法、系统及设备,所述方法包括:激光器以脉冲串输出原始激光束;通过激光束整形组件将所述原始激光束转换成衍射激光光束;所述衍射激光光束经过聚焦物镜聚焦,在 Z 方向上形成若干个焦点;将 LED 晶圆片放置在可以移动的 X、Y 方向平台上,使聚焦后的衍射激光光束聚焦到所述 LED 晶圆片内部,移动 X、Y 方向平台,沿着移动的方向在所述LED 晶圆片内部形成若干个激光炸点;将所述LED 晶圆片通过外力辅助沿所述激光炸点轨迹切割,以形成多个单独的晶粒。本发明能够满足各类 MiniLED 晶圆片的切割需求,使得切割的晶圆片斜裂角度控制在 2 度以内,切割无锥度;同时切割后 LED 晶圆片的正面和反面直线度可以控制在 5μm 以内。


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