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- 2023-02-17 09:37哈工大突破高速超精密激光干涉仪，阿斯麦:中国即将突破光刻机
- 2023-02-15 09:14大族激光接近式光刻机已投入市场
- 2023-02-14 09:28再度突破，哈工大公布重要光刻机技术，国产芯片有望实现7纳米
- 2023-02-08 13:56大族激光光刻机获新进展
- 2023-02-07 10:17大族激光：接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化
- 2022-12-06 10:29半导体设备，光刻机一枝独秀
- 2022-12-05 09:37半导体设备，光刻机一枝独秀
- 2022-05-30 09:20新诺科技发布用于高阶HDI、FPC的激光直写光刻机
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