精密光学平台的应用选择和要求
精密光学平台分为两大类:气蘘减振及机械阻尼减振,气蘘减振可获得较低的频率(0.7-3)Hz,机械阻尼减振效果稍逊(3-6)Hz所采用不同的方法减振效果也不同,在选择光学平台的时候要考虑所要求的光学平台其减振性能与实验采集数据的精密性相适应,仪器器件调试精密度与稳定性能也直接影响数据的正常采集.光学平台在整个实验仪器器件中承担的角色是承载、固定、排除减弱外界振源对仪器器件干扰,光学平台的用途广泛:以作为在光全息技术,光谱实验技术,激光聚变技术,现代光学技术,精密检测技术,集成电子技术,光纤通讯及医疗生物等现代科学研究工程中的基础设备.鉴于光学平台在实验中的作用,因此要求制造的光学平台具有刚度强、形变量小、承载能力大、减振效果好、对仪器器件的固定和保护还要求光学平台的表面具有光洁、防腐、防锈、平整、方便固定器件.在材料选择上采用强度较高的中碳钢,平台的表面则选用防腐、防锈的导磁不锈钢.但在要求防电磁场干扰的情况下也全部采用不导磁不锈钢。当光学平台作为科学研究的基础设备时需要相对长的时间稳定和瞬时快速采集数据所要求振动振幅,频率(Hz).提高光学平台所有技术指标并不是唯一的选择.外部坏境对光学平台影响也是不可忽视的因素.
光学平台种类
光学平台的部件由主要两部分组成:上部分光学平台箱体、下部分连接光学平台箱体的起调节、支撑和稳定作用的脚.
从隔振方法上分
- 气蘘隔振:有内置式与外露式;
内置式是将气蘘装置在支撑脚内,外置式是气蘘裸露在外.
- 机械隔振:有机械弹簧隔振,气动弹簧隔振;
- 阻尼隔振:利用不同阻尼材料隔振;
从性能效果形式上分
- 简易型(又称普通型)
- 精密隔振型
- 自动充气型(又称自动平衡)
- 电动平移台
光学平台箱体
光学平台的箱体要求制造精密、并要消除内应力已防止因应力而产生形变,面板用高导磁不锈钢材料,台板精密制作,平面粗糙度0.4-0﹒8um并且光泽柔和。平面度<0.05mm/㎡。面板的厚度6mm-12mm。M6.螺孔25×25等距制孔。箱体具有足够的刚度。
支撑脚
支撑脚外形有方形和圆形,功能没有区别,支撑脚内置气蘘。气蘘与气室之间有一小孔起阻尼作用,当振源干扰平台时气蘘发生变形气体通过小孔进入气室。使振动频率降低。气蘘内压大与小可影响振动频率单位大小。支撑脚还承担承载箱体仪器器件的重量并调节平台的水平度。
特殊形状的光学平台
1.T字型
2.L字型
3.工字型
4.升降式型
5.双层移动型
6.拼接型
普通光学平台的技术指标
1、平面度:0.02mm/㎡-0.05mm/㎡
2、粗糙度:0.4-0.8um
3、固有频率:4Hz-6Hz
4、振幅:0.1um-0.5um
5、螺孔: M6
6、螺孔矩阵:25×25 50×50
7、高度:800mm
8、规格:(见例表)
气垫隔振光学平台技术指标
1、平面度:0.02mm/㎡-0.05mm/㎡
2、粗糙度:0.4-0.8um
3、固有频率:1.1Hz-2.8Hz
4、振幅:0.01um-0.1um
5、螺孔: M6
6、螺孔矩阵:25×25 50×50
7、高度:800mm
8、规格:(见例表)
自动平衡光学平台技术指标
1、平面度:0.02mm/㎡-0.05mm/㎡
2、粗糙度:0.4-0.8um
3、固有频率:1.1Hz-2.8Hz
4、振幅:0.01um-0.1um
5、螺孔: M6
6、螺孔矩阵:25×25 50×50
7、高度:800mm
8、规格:(见例表)
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