·极宽的光谱范围,波长范围从193nm至1700nm
·390-720个波长同时测量
·大范围的测量角度,手动角45-90o,自动角40-90o,因此该椭偏仪的 测量角度均可超过45
·融合了该公司的专利技术——旋转补偿技术,在整个范围内(0-360o)均能得到Δ值的精确测量
·极快的测量速度,不仅体现在多个波长同时测量,而且其测量速度是同类产品中最快的,每次测量只需1-5秒,而其它产品则需60秒以上
·M-2000F型椭偏仪具备很好的聚焦功能,在固定角情况下,聚焦斑点可达30μm,在可变角度情况下,聚焦斑点可达100μm
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