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Zygo 斐索干涉仪

星之球科技来源:中科院大连物理化学研究2011-07-29我要评论(0)

主要技术指标:可测元件口径:Ф10~Ф300 标准镜精度:PV /20 重复性:△PV0.020 功能/应用范围:测量光学元件表面面形及透过波面


主要技术指标:可测元件口径:Ф10~Ф300

标准镜精度:PV λ/20

重复性:△PV<0.020λ

功能/应用范围:测量光学元件表面面形及透过波面

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