衡量半导体激光器件质量的技术指标包括输出功率、峰值功率、脉冲宽度、功率稳定性、功率～电流曲线、发光效率、阈值电流、工作电流和工作寿命等。其中．辕出功率和峰值功率都是关键的指标，也是进行上述各参量测试的基础，因此功率和峰值功率测试是首要解决的问题。

与其它激光输出不同的是半导体激光由于衍射效应光束发射角极大(可达几十度)。这就给测试带来了的难度，用现有的仪器，几乎无法对其进行直接测试。

根据半导体激光器的特点．我们采用积分球原理．使被测激光通过积分球入孔进入经漫反射处理的球内后，在球内壁多次漫反射从而在球表面上形成均匀光强分布区与入射激光成线性关系。在积分球出孔处放置一光电型探测器测量此处的功率即可得出进入积分球的激光功率值。整套测试系统由积分球、功率采样、电流采样、波形采样及数据处理几个单元组成，功率测量范围可达2cw，波长范围400—1100nm．可以对器件进行全参量测量，包扩激光平均功率及稳定性、峰值功率、脉冲宽度、工作电流、P—I曲线、发光效率、阈值电流。整个系统的设计关键是积分球，设计时必须考虑衰减比与腔体尺寸、腔内表面涂层一必须确保涂敷物达到朗伯漫射体的要求。还必须考虑涂层的稳定性这是影响测量重复性的关键因素。

半导体激光参量技术的发展目标集中在研制开发低成本的中小功率计、大功率测量仪器及高频响应的光电接收器件。国外用于半导体激光测试商品化的探测器已做到在可见光区60GHz，红外光区45GHz