准分子激光器是气体激光器家族中一名非常特殊的成员，其工作物质由惰性气体（氖、氩、氪、氙等）和卤族元素（氟、氯、溴等）组成，在基态，呈两种原子气体混合状，被短脉冲电流激发到激光高能级时生成化合物，化合物的每个分子由两种气体各贡献1个原子组成，这就是“准分子”这一名称的来历。

准分子激光器最常见的有氟化氩（arf）、氟化氪（krf）、氯化氙（xecl）等，这类激光器一般以短脉冲方式工作在紫外波段。

第一台准分子激光器于1970年诞生，它利用强电子束激励液态氙，获得氙准分子的激射作用，激光波长为1720埃。随后，气相氙分子以及其它稀有气体准分子，稀有气体氧化物准分子（氧化氪、氧化氙、氧化氩等），金属蒸气-稀有气体准分子（氙化钠等）；稀有气体单齿化物准分子（氟化氙、氟化氩、氟化氪、氯化氙、溴化氙、碘化氙、氯化氪等），金属齿化物准分子（氯化汞、溴化汞等）和金属准分子（钠准分子等）陆续诞生。准分子激光物质具有低能态的排斥性，可以把它有效地抽空，故无低态吸收与能量亏损，粒子数反转很容易，增益大，转换效率高，重复率高，辐射波长短，主要在紫外和真空紫外（少数延伸至可见光）区域振荡，调谐范围较宽。它在分离同位素，紫外光化学，激光光谱学，快速摄影，高分辨率全息术，激光武器，物质结构研究，光通信，遥感，集成光学，非线性光学，农业，医学，生物学以及泵浦可调谐染料激光器等方面已获得比较广泛的应用，而且可望发展成为用于核聚变的激光器件。