常见工业气体及高纯气体的用途汇总_气体_辅助系统_

序号	气体名称	纯度/%	主要用途
1	纯氩Ar	≥99.99	冶炼、切割、焊接、电子工业
2	高纯氩Ar	≥99.999	电子管、特种灯泡、真空技术
3	纯氮N2	≥99.99	化工、冶金、电子工业
4	高纯氮N2	≥99.999	科研、电子、机械行业、色谱仪、载气
5	纯氢H2	≥99.99	金属冶炼、焊接、国防工业
6	高纯氢H2	≥99.999	电子工业、石油化工、色谱仪、载气
7	纯氦He	≥99.99	电子工业、潜水呼吸
8	高纯氦He	≥99.999	色谱仪载气、电子工业等
9	工业氧O2	≥99	钢材焊接、火焰加工
10	高纯氧O2	≥99.95	标准气体的制备、集成电路、科学研究
11	工业氢H2	≥99	石油、油脂加氢、人造宝石、石英玻璃制造、金属切割
12	纯氙Xe	≥99.99	电光源工业、医疗、电真空、激光行业
13	高纯氙Xe	≥99.999	电光源工业、医疗、电真空、激光行业
14	纯氪Kr	≥99.99	电光源工业、电真空工业
15	高纯氪Kr	≥99.999	电光源工业、电真空工业
16	纯氖Ne	≥99.99	电光源工业
17	液体二氧化碳CO2	≥99.9	化工、焊接、制冷、化纤、农业、食品添加剂
18	高纯二氧化碳CO2	≥99.999	标准气体的制备
19	二氧化硫SO2	≥99.9	医药、科研、制革、排放源监测
20#p#分页标题#e#	硫化氢H2S	≥99.9	标准气制备、等离子干刻
21	一氧化碳CO	≥99.9	金属冶炼、渗碳、标准气及混合气制备
22	甲烷CH4	≥99.9	低温液体洗涤剂标准气及混合气制备
23	乙炔C2H2	≥99	金属焊接、切割、加热燃料、有机产品原料
24	丙烷C3H8	≥99.9	石油化工、医学检验、标准气体的制备
25	乙烯C2H4	≥99.9	乙烯、丙烯成分分析标准气体的制备
26	丙烯C3H6	≥99.9	化工合成、焊接、燃烧等
27	乙硼烷B2H6	≥99.995	半导体器件制造中的重要P型掺杂源
28	磷烷PH3	≥99.999	半导体器件制造中的重要N型掺杂源
29	砷烷AsH3	≥99.999	N型掺杂剂
30	硅烷SiH4	≥99.999	用于制备高纯多晶硅

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