高纯气体产品的分类
目前, 国内市场的气体产品按其用途可进行如下分类:
1、一般工业用气。包括工业氢气、工业氮气等。
2 、医疗用气。包括医用氧气、麻醉气等。
3、食品工业用气。如液体二氧化碳。
4、 民用燃气。如天然气, 液化石油气等。
5、电子工业用气。如硅烷、磷烷等。
6、仪器仪表用气。如标准气、色谱载气等。
7、其它特殊用途用气。
一般情况下, 1～4 类气体产品的市场需求量很大, 而纯度要求不是很高, 主体成分含量通常在9915% 以下。
5～ 7 类气体即所谓的特种气体, 其特点是品种繁多, 市场需求量较小, 纯度要求高, 对其所含的杂质的种类和数量有着严格
的限定。
不同类别的同一种气体, 质量要求差异很大。

高纯气体的分析
高纯气体分析的核心是对其中的规定杂质进行定性、定量测定。由于高纯气体中的限定杂质数目多, 且含量极低, 通常在
10^-6～ 10^-7范围, 因此对测试设备和分析人员均有较高的要求。
目前, 用于高纯气体测试的设备主要有:色谱仪、质谱仪、色- 质联用仪、光谱仪、电化学仪器、露点仪及各种专项测试仪表。经典的化学分析方法也是测定化学活性杂质的常用手段。
从事高纯气体分析的分析人员应熟悉气体分析的一般过程, 具有正确选择检测方法的能力, 并通过实践掌握高纯气体分析的特殊技能。拥有具备资格的分析人员和适宜的测试设备, 是开展高纯气体检测工作的前提。
随着半导体工业的发展, 对气体产品的质量要求越来越高, 对高纯气体分析的测试技术要求亦在不断提高。可以断言, 高纯气体测试手段及方法的研究是一项永无止境的工作。