相关产品：准分子激光气体

在准分子激光器全球的医疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高端行业得到广泛的应用，但作为专业的准分子激光气体的重要厂商，我们同时也发现在准分子激光器的使用上，还存在着一些隐忧，笔者想通过这篇文章，以引起相关操作人员的重视。

准分子激光气体的主要成分：

氟化氩（ArF)193 nm：F₂、Ar、He、Ne；

氟化氪（KrF)248 nm：F₂、Ar、He、Ne；

氯化氙（XeCl）308 nm：HCl、H₂、Xe、Ne

氟化氙（XeF）351 nm：F₂、#p#分页标题#e#Xe、He、Ne

显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害最主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。

除了稀有气体之外，准分子激光气中的F₂是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下，准分子激光气体都是以预混的形式进行供应，这些预混气的F₂浓度都在1%以下，但足以对人体健康构成威胁，尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气，使用的是5%F₂+95%He，这类型的气体对人体的危害更为严重。

氟气，化学式F₂，是一种淡黄色、极具腐蚀性的双原子分子气体，密度（标准状态下）： 1.554kg /m³比空气大。有特殊气味，吸入感觉干燥。

物质状态： #p#分页标题#e#	气体	形状：	透明气体
		气味：	辛辣、臭味
颜色：	透明无色	沸点/沸点范围：	-185.9 ° C
PH值： #p#分页标题#e#	N/A	闪火点：	无
分解温度：	无	测试方法：	○开杯○闭杯
自燃温度：	无	爆炸界限：	爆炸下限(LEL) /爆炸上限(UEL)：…/… #p#分页标题#e#
蒸气压：	756.4 psig	蒸气密度：	1.312(空气=1)
密度：	0.098 lb ./ft3( 1.57 kg /m3)@ 21.1 ° C	溶解度：	完全互溶

　理化性质#p#分页标题#e#

化学分子式：F₂

分子量：37.9968

　　熔点(101.325kPa)： -219.62 ℃

　　沸点(101.325kPa)： -188.1 ℃

　　液体密度(- 188.1 ℃ ，S.P.)： 1507kg /m³

　　气体密度( 25 ℃ ，101.325kPa)： 1.554kg /m³

　　相对密度(气体，空气=1#p#分页标题#e#， 25 ℃ ，101.325kPa)：1.312

　　比容( 21.1 ℃ ，101.325kPa)： 0.6367m ³ /kg

　　临界温度： -128.8 ℃

　　临界压力：5215kPa

　　临界密度： 574 kg /m³

　　熔化热(- 219.67 ℃ ，0.252kPa)：13.44 KJ/kg

　　气化热(- 188.2 ℃ ，101.325kPa)：175.51 KJ/Kg

　　比热容(气体， #p#分页标题#e# 21.1 ℃ ，101.325kPa)：Cp=827.67J/(mol.K)

Cv=609.65J/(mol.K)

　比热比(气体， 21.1 ℃ ，101.325kPa)：Cp/Cv=1.358

　　蒸气压(53.56K)：0.223kPa

(77.17K)：37.383kPa

(89.40K)：162.638kPa

　　粘度(气体， 0 ℃ ，101.325kPa)：#p#分页标题#e#0.02180mPa.s

(液体， -192.2 ℃ )：0.275mPa.S

　　表面张力(- 193.2 ℃ )：14.81mN/m

　　导热系数(气体， 0 ℃ ，101.325kPa)：0.024769W/(mol.K)

(液体， -188.1 ℃ )：0.159W/(mol.K)

　　折射率(气体， 25 ℃ ，101.325kPa)：1.000187 #p#分页标题#e#

(液体， -188.1 ℃ )：1.2

　　毒性级别：4

　　易燃性级别：0

　　易爆性级别：3

　　火灾危险度：极大

氟是电负度最强的元素，也是很强的氧化剂。在常温下，氟几乎能和所有的元素化合，并产生大量的热能，在所有元素中，氟是最活泼的。在－ 188 ℃ 以下，凝成黄色的液体，在 -223 ℃ 变成黄色结晶体。由于氟的强化学特性，单质氟在自然界基本不存在，而主要以化合物的形式存在，其中最重要的化合物是氟化钙（CaF₂），俗称萤石或氟石。由于原子能工业的发展，提炼核燃料必须使用单质氟，才使得氟气发展得到大规模的工业生产。氟气在现代工业中，特别是核工业、电气和化工行业等部门有着十分重要的用途。

毒性 #p#分页标题#e#

　　人吸入TCLo：25ppm，5分钟，对眼有刺激性

　　最高容许浓度：0.1 ppm (0.2mg/m³)

　　氟是剧毒性气体，能刺激眼、皮肤、呼吸道粘膜。由于它立即与水反应生成氟化氢HF，所以在大多数情况下显出与氟化氢同样的毒性。轻微吸入会影响肺、鼻、喉咙等呼吸道黏膜，导致咳嗽及呼吸困难，过度吸入有可能产生组织破坏或肺水肿。

　　当氟浓度为5～10ppm时，对眼、鼻、咽喉等粘膜开始有刺激作用，作用时间长时也可引起肺水肿。与皮肤接触可引起毛发的燃烧，接触部位凝固性坏死、上皮组织碳化等。慢性接触可引起骨硬化症和韧带钙化。氟物质会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸，如果超过20%氟化氢或氢氟酸污染致人体可能导致血钙过少。吸入氟的患者应立即转移至无污染的安全地方安置休息，并保持温暖舒适。眼睛或皮肤受刺激时迅速用水冲洗之后就医诊治。氟物质亦会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸。水中生物部分，如混合气体大量的在河边或水中外泄，会导致鱼类或水中生物死亡。

安全防护

　　工作场所要通风保持空气新鲜干燥。要用特种钢瓶贮装。钢瓶存放时必须与其它物料隔离，特别是与能和氟反应的物料隔绝，要远离易起火地点。

　　着火时消防人员须在防爆掩蔽处操作，切不可将水直接喷射漏气处，否则会助长火势。灭火可用二氧化碳、干粉、砂土、废气可用水吸收。

个人防护设备： #p#分页标题#e#	呼吸防护：当氟物质超过暴露标准，或是紧急处理程序时，必须使用呼吸防护具。 眼部：头盔附护目镜(不可戴隐形眼镜) 手套：橡胶手套 其它：全套防化学污染之衣物
卫生措施：	使用时禁止吸烟或进食，并需注意环境整洁及个人卫生。

安全与运输

　　氟气是一种毒性极高的强腐蚀性气体，在湿空气中易形成氟化氢或二氟化氢。氟的腐蚀性突出表现为强烈的酸性刺激性，其性质同氟化氢相似。与水、水蒸气反应，产生有毒腐蚀性烟气，并放出热。

　　氟气对皮肤的灼伤速度比氢氟酸快许多，眼睛是氟中毒的敏感部位，它对眼睛的刺激程度也大大超过氢氟酸。呼吸到低含量的氟气不会产生明显的生理病变，但经过呼吸系统进入人体的骨组织内，引起化学反应导致骨质松软。氟气属有毒压缩气体，宜储存于阴凉、通风仓内，，并应远离火种、热源。氟气应与易燃或可燃物、金属粉末等分开存放。

工程控制： #p#分页标题#e#	工作场地需为通风良好场所，建议钢瓶放置在安全的通风处如毒气柜，操作时应有监控系统以降低员工暴露危险
控制参数
八小时日时量平均容许浓度 TWA		短时间时量平均容许浓度 STEL		最高容许浓度 Ceiling	生物标准 BEI(ACGIH)
0.1 ppm		2.0 ppm		10 ppm	#p#分页标题#e#
生物指标
LD50(测试动物吸收途径)			LC50(测试动物吸收途径)
测试动物(-)吸收途径			测试动物(185ppm)吸收途径

生态资料

可能之环境影响/环境流布：氪气、氖气为大气中自然产生之气体成分之一，不会造成环境影响。在自然水中，包含了钙及其它含碱之化学物质，与氟物质接触后会产生氟化钙及其它的氟化盐物质等中和现象。此外，氟物质亦会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸，所有作业操作必须以降低环境中污染物为目标。 #p#分页标题#e#

植物或动物影响：因为混合气体中的毒性物质，动物暴露在混合气体下会造持细胞组织破坏、燃烧并有可能导致死亡。植物如受到此混合气体污染，可能遭致有害影响或破坏

水中生物：混合气体中的氟物质，会对水中生物产生不利的影响，如果混合气体大量的在河边或水中外泄，会导致鱼类或水中生物死亡。

臭氧消耗影响：此混合气体的成分不为第一级或第二级臭氧消耗的化学成分

废弃处置方法

废弃处置方法：以慢速通过苏打(碳酸钠)吸收过滤之