想要经济地处理能源和资源问题，机床和设备就必须在连续的使用过程中被监控。为此，一种易于集成的传感器技术便成为及时进行机床和设备维护保养，保证产品生产质量，避免停机故障和改善生产过程稳定性的关键因素。

　　高精度的生产过程监控需要直接来自生产过程的数据作为保障，这些数据应该由那些安装在机床设备上的传感器来提供。而负责这种检测监控任务的传感器大多数都是光纤传感器，即有着极高检测精度得微型化光纤传感器，使其能够方便得集成在机床、设备和检测仪器中，能够很好得完成监控和数据传输的任务。

基于光纤的光缆外径只有0.4～3mm的传感器适合在高精度的机床加工中使用

　　利用由Fraunhofer IPT研究所研发设计的间距检测传感器，能够在多个不同的检测位置同时完成对被加工零件的形状和位置误差的纳米级精度检测。这种技术在航空航天、汽车制造、印刷机械制造和光学设备制造领域中都能够得到很好的应用。

　　这种检测技术适合于那些传统检测解决方案因安装使用空间有限，以及传统检测技术无法满足检测精度的场合。这种传感器的检测频率很高，检测误差明显的小于高精度检测仪，能够实现机床和设备在超精密级范围内的在线检测，如机床运动轴和导轨移动的监控以及传动轴的监控。

　　Fraunhofer研究所研发的这种检测系统基于短波激光干涉原理，主要由两个相干性激光部件组成。其中的第一个是纯光学的全光纤技术元件（SLD1），第二个则是Michelson激光干涉器（SLD2）。这种检测仪器的检测距离大约为500μm，清晰度达1nm的检测范围约80μm。

　　Fraunhofer IPT研究所研发的这个系统是基于激光短相干的工作原理，其主要部件为两个相干性激光部件单元，其中的第一个是纯光学的全光纤技术元件（SLD1），第二个则是Michelson激光干涉器（SLD2）这种传感器用光波电缆（LWL）连接，电缆的外径尺寸为0.4～3mm。对于刚性要求较高的传感器，可以将其安装在CFK或镍钛复合材料的金属壳中。

　　最后，将两种信号在Michelson干涉器中进行解码。微型传感器和检测装置集式在一起而检测结果的最终评判装置无需安装在检测现场。另外，这种检测系统的结构还允许在一个检测评判单元中使用多个检测传感器。利用光纤转换开关可以快捷方便地在各个传感器之间进行切换。

　　由此在Michelson干涉器中而得到的光栅图将用CCD电荷耦合式摄像机进行解码，利用计算机进行下一步的数据处理。检测间距和检测范围取决于传感器信号（焦距）和折光镜的角度以及其与激光射束之间的间距。与其他的检测系统相比较，这种检测系统的优点在于它没有类似于线性调节器或压电发生器之类的区别档位的机械零部件。

CCD电荷耦合式摄像机的特性解码

　　当被测物体进入到检查范围之内后，将会产生一个由CCD电荷耦合式摄像机解码的固有特征干涉光样本。利用干涉信号的横向位置在CCD芯片中对被测物体的间距进行补偿，并把间距调节量换算成图像的像素点数。