据公司负责人介绍,投影光刻机的核心技术在半导体制造难度最高。在政府政策支持下,国内的投影光刻机从10年前依赖国外进口,到如今实现了自主研发。他们希望借助中国工博会的强大影响力,推广此项技术。
上海微电子装备有限公司的SSB500系列投影光刻机
“明年还想再来参展”
作为全球最大的数控机床制造商之一,美国哈斯自动化公司首次参加中国工博会,在超过180平米的展示区域内摆放了五款加工机床,覆盖了该公司最先进的机床产品。哈斯公司还在每台机床前都安排了公司的工程师负责演示讲解。
其中最吸引观众注意的,是哈斯公司一款超高速立式加工中心VF-3SS。这款机床配有该独创的12000-rpm同轴直接驱动主轴,超快的换刀装置,其移动速度达到35.6m/min;而30马力的矢量驱动系统,不但可以提供低端转矩,更可为高速加工工序中高速侧挂式刀库,提供仅1.6秒的换刀时间;同时还可进行方形等特殊形状的钻孔加工。记者在现场看到,经过高速镗铣,VF-3SS只用12分钟就完成了展示部件的加工。
哈斯公司的负责人表示,中国工博会展会主办方的工作做得很不错。在此次展出的4天中,哈斯公司已经签订了两台机床的订单,收获颇丰。他表示,明年他们还想继续参展中国工博会。
美国哈斯自动化公司的展位前,不少专业观众在观看超高速立式加工中心VF-3SS现场作业
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