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大直径平凸透镜面形的阴影检验法(二)

星之球激光来源:计量网2013-01-10我要评论(0)

2 检验结果 当刀口仪恰好切在计算出的位置时,会出现如下现象。 (1)当刀口自右向左切割光束时(我国刀口仪普遍自右向左切割),红黑交界处,相应镜面上有高或低的顶点(与...

2 检验结果

  当刀口仪恰好切在计算出的位置时,会出现如下现象。

  (1)当刀口自右向左切割光束时(我国刀口仪普遍自右向左切割),红黑交界处,相应镜面上有高或低的顶点(与球心在刀口的球面波相比较),形成高带。

  (2)当光束由凸面反射时,由于是内反射检验,刀口切割的是经透镜会聚后的光束,此时对于高低点的判断原则与利用刀口仪对凹面镜镜型反射检验的判断原则是完全相反的即镜面右黑左红的交界处为高,右红左黑处交界处为低。

  (3)透射检验的阴影图除反映光学元件

  表面加工情况外还可进一步反映玻璃的材料的内部均匀性。

  根据以上计算结果进行实际操作检验,使用刀口仪的时特别值得注意的是由于透射会产生色散需在刀口仪的观测处加一块单色玻璃(ZEMAX中选定的计算波长应与此单色光源波长一致),这样可以消除色散给观测带来干扰有助于提高检验精度。

  刀口仪检验的像质评价如图 3~6 所示。

  图 4 给出了系统的波前像差,图 5 给出了传递函数图。

由像质评价图可见,利用刀口仪对凸透镜进行透射检验精度较高,光线完全可自准回来,从而可以用刀口仪对凸透镜进行透射检验。

  3 结语

  对于凸透镜的检验,本文提出了刀口仪阴影法检验凸透镜的方法,阴影法检验凸透镜有如下优点。

  (1)所需设备简单,不被检验面口径大小限制,可直接检验凸透镜表面及光学材料内部均匀性。

  (2)检验精度高,可发现小于λ /10 的波面缺陷。

  (3)检验时刀口仪不需与镜面接触,所以不会划伤镜面。这对保证镜面光洁度十分有利 。

  ( 4 ) 检验速度快,刀口仪放好后,进行切割立刻发现镜面缺陷及所在部位。

  (5)为提高检验精度,可以用 CCD 接收阴影图。

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