准分子激光器有三个主要的用途:LASIK眼科手术,平板显示器退火,和半导体微光刻。不过,准分子市场的其他部分也是很重要的,包括了许多不同的加工和行业,从对眼镜打标到加工柴油机汽缸套,到电子工业中的打孔都使用了该技术。然而,这'三大'主要的应用有专门的模型,这些模型被优化以满足行业中已很好确立的性能参数,在大量不同的应用中对激光条件有着广泛且多样的要求。这是因为对于一个给定的材料和波长,要进行有效的材料加工就需要在主要的准分子激光性能,脉冲能量(对加工对象的影响),和重复频率之间得到正确的平衡。
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