近日，Gigaphoton公司在LPP光源技术的研究上取得重大的突破，实现了高输出低成本的稳定LPP光源，研制出了输出功率达20W的LPP EUV激光光源，将进一步推动着极EUV光源的发展。

Gigaphoton公司18日宣布已经成功将激光产生等离子体（LPP）EUV光源产品的输出端等效最大功率推进到了20W水平。该公司达成这个目标所使用的方法是应用固态预脉冲激光器，以100kHz频率的CO2激光来轰击锡靶标。采用这种方法，该公司在光源运行过程中达成了平均10W水平的输出功率。由于目前普遍认可的预生产型商用EUV光源输出功率级别正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果标志着预生产极EUV光源发展过程中的一个新里程碑。

Gigaphoton公司自2002年起便专注于高输出功率，经济型LPP光源的研发。几年来该公司研发出了许多相关的技术，包括锡液滴尺寸低于20μm水平的按需式锡液滴生成技术，以及融合了短波长固态预脉冲激光器技术，CO2激光技术，以及磁场式杂质消除技术在内的LPP EUV激光光源技术。

据了解，其独特的LPP光源技术可通过按需使用超小锡液滴、减少停机时间和成本，从而扩展液滴发生器的寿命。此外，已通过优化组合光源达到高EUV输出转换效率。为了使集光反射镜的寿命最大化，使用一个超导磁体来生成强大的磁场，引导锡液滴热膨胀所产生的不需要杂质流向锡捕集器，以进一步减少成本和停机时间。

Gigaphoton公司的CEO兼总裁Hitoshi Tomaru指出，“事实上，我公司独特的LPP光源技术现在能够实现一定程度的EUV输出，足以媲美现有试制性能的EUV输出，这一事实表明我公司的高输出、低运行成本、稳定LPP光源等见解的确可以实现。”

LPP EUV激光光源成功实现了20W的功率输出，这对Gigaphoton公司是重要的进步，不仅更加精湛了公司的LPP光源技术，并且凭借着先进的技术，其产品必将在市场上赢得主流地位，为企业的发展注入了更新鲜的活力。