清洗镜片的过程中，唯一的目的就是将镜片的污染物去除，并且不要对镜片造成进一步的污染和损坏。为了达到这一目的，人们往往应采用风险相对小的方法。
首先应用空气球将元件表面的浮物吹掉，特别是表面有微小颗粒和絮物的镜片，这一步是必要的。但千万不要使用生产线上的压缩空气，因为这些空气中会含有油物和水滴，这都会加深对镜片的污染。

第二步应用丙酮对镜片作轻微清洗。这种级别的丙酮几乎是无水的，这就降低了镜片污染的可能性。 棉花球蘸上丙酮必须在光照下清洗镜片，并做环状移动。棉签一旦脏了，须更换。清洗要一次完成以避免产生波筋。 (如果镜片有两个镀膜表面，如透镜，每个面都需要以这种方法清洗。第一面需要放在一层干净的透镜纸上以起保护作用。)

如果丙酮不能将所有的污物去除，接下来使用酸醋清洗。酸醋清洗是利用对污物的溶解来达到清除污物的，但不会对光学镜片造成伤害。这种酸醋可以是实验级别的（稀释到50%强度），或者家庭用的6%乙酸的白醋亦可。清洗的程序与丙酮清洗一样，然后再用丙酮来去除酸醋和擦干镜片，这时要频繁的换棉球以完全的吸走酸和水合物。

（注意：只能使用签体纯纸杆棉签。 只能使用经过捡选、不含任何研磨物的高质量医用棉球。）
当然，某种污染物和镜片损伤无法通过清洗去除，特别是因金属飞溅和污垢引起的膜层烧坏，要想恢复良好的性能，唯一的办法就是更换镜片。 正确的安装方法 在安装过程中，如果方法不正确，就会使得镜片被污染。因此先前所讲的操作规程要遵守。如果大量的镜片需要安装和拆卸，有必要设计一种夹具来完成任务。专一的夹具可以降低与镜片接触的次数，从而减少镜片污染或毁坏的危险。
另外，如果镜片安装不正确，激光系统将不能正常工作，甚至于会被损坏。所有的二氧化碳激光器镜片应以某一方向安装。所以使用者应正确认好镜片的正确方向。
反射镜是第三种常用镜片，它的安装也是非常关键的。当然，对于反射镜很容易辨别反射面。很明显，镀膜的一面对着激光。 一般而言，制造商会在边缘做出记号来帮助辨别表面。一般这种记号是箭头，箭头对着其中一面。每一个镜片制造商都有一个关于镜片标记的系统。一般而言，对于反射镜和输出镜，箭头对着高反面。对于透镜，箭头对着凹面或平面。有时，镜片标签会提醒标记的意义。
当镜片被正确地清洗和操作，那它的使用寿命和表现无疑会明显改善。采取一些预防和保养措施将能确保CO2激光工作更久，表现更好。