该BZPMJ700标准平面镜由平面反射镜和精密二维支撑架两部分组成。经过技术攻坚,已经加工出高精度面形平面反射镜。直径700mm的平面反射镜有效口径范围面形精度达到PV=0.187λ、rms=0.018λ、power=0.003λ(λ=632.8nm),为该所自制同尺寸平面镜最高精度。此项技术的突破标志着奥普光电具备了直径800mm以内大口径高精度平面镜加工能力,单镜加工周期为半年左右,加工工艺具备定型条件,并能够延伸开发制作不同尺寸和种类的标准平面镜系列产品。此项技术突破为奥普光电创造了新的技术发展点和经济增长点。
据悉,奥普光电也已具备了大尺寸元件的加工能力,成功加工完成了直径580mm、直径700mm的离轴抛物镜,直径1230mm的球面镜的加工。
Φ700mm平面标准镜在所检测中心用32英寸ZYGO平面干涉仪检测
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