上海市激光技术研究所创建于1970年，是以先进激光技术应用开发为主的市属转制科研院所， 是首批认定的高新技术企业之一，是中国光电子行业协会副理事长单位、上海市激光学会的理事长单位理事单位。 主要出版刊物为《应用激光》杂志。在研发创新上，上海市激光技术研究所是国内最早从事激光、 光子治疗设备开发及临床应用研究的单位。围绕国家和上海发展战略，致力于激光技术的前沿研究， 研究领域覆盖激光加工、激光测量和成像、激光照明、激光医学、激光艺术等，荣获国家、上海市重大科技奖130余项； 获有效专利授权90余项，其中发明专利25项。在产业发展上，集研发、生产销售和技术服务为一体，面向国内外市场， 针对用户个性化需求，研制产品，提供专业技术服务、激光设备等，产品供应与技术服务以国内市场为主， 如今国外市场已经延伸至欧美、日韩等国。
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申报项目：
全自动晶圆激光软标识的设备
用于在裸硅晶圆和镀膜硅晶圆的特定位置，标记无裂纹、无碎屑的软标识，有效增强硅晶圆的可追溯性，为生产管理和品质管理提供有效手段。
产品特点
（1）即可以在硅晶圆（包括裸硅晶圆和镀膜硅晶圆）上标识无裂纹、无碎屑的软标识，也可标识一定深度的硬标识，字体符合SEMI标准，兼容特殊字体
（2）可实现点阵式的软标识字符和二维码，标识符号可以直线或弧形排列；
（3）可实现标识深度小于1um的清晰可见，无裂纹、无碎屑，均匀一致的高质量的激光标识，符合ISO1级环境下的要求；
（4） 配置SECS/GEM，连接EAP;
产品创新
1. 自主研发的激光功率反馈功能，解决激光器固有的不稳定性导致的不均匀点和微裂纹。
2. 自主研发的基于激光偏振的能量调控单元，实现标识深度um级的调控；
3. 精确的软件脉冲控制方式，实现标识质量的精准调控；
4. 关键器件国产化，打破国外的垄断；
市场情况
通过自主研发，在2021年推出自主开发的，可满足半导体制造制程苛刻的物理特性要求的全自动晶圆激光软标识成套设备，摆脱了国外就该技术对我国得垄断，实现该种设备的国产化。国产化设备在品质保证的情况下，成本可实现50%的降幅。
