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第六届 红光奖超快激光器创新奖

获奖企业:英诺激光科技股份有限公司

英诺激光在2022年推出AMT-266-3W-70MHZ皮秒激光器,拥有衍射极限的光束质量,极窄的光谱线宽,长期稳定可靠,性能指标达到国际领先水平,是成熟的工业级产品。主要应用于28nm及以下节点的晶圆缺陷检测,匹配其的高空间分辨率、高灵敏度和高效率需求。率先打破国外在深紫外激光领域的垄断,实现国产替代,解决“卡脖子”问题,推动我国半导体和集成电路产业的升级,助力提升国家高端制造能力。

获奖产品

申报产品


超快深紫外皮秒激光器 AMT-266-3W-70MHZ


主要用途及该产品及服务的时长


英诺激光在 2022年推出AMT-266-3W-70MHZ。AMT-266皮秒激光器拥有衍射极限的光束质量,极窄的光谱线宽,匹配晶圆缺陷检测的高空间分辨率、高灵敏度和高效率需求。晶圆缺陷检测是发展芯片技术至关重要的一环,当前国产芯片节点正向28 nm以下推进,相应的芯片晶圆缺陷检测需在空间分辨、灵敏度和效率等方面加以提升。发展高重频、高功率深紫外激光是提升亚28nm芯片晶圆缺陷检测水平的重要发展方向。高重频高功率深紫外超快激光器是晶圆缺陷检测装备的核心部件,长期被国外垄断,并且面临被卡脖子风险。


技术参数


波长:266nm

平均功率:>3W

脉冲能量:>0.043@70MHz

指定频率:70MHz

线宽:<50pm

脉宽:<50ps

平均功率稳定性@8hrs(RMS): <1%;

光束质量㎡:<1.2

冷却方式:水冷

光斑圆度:>90%

光束直径:~2±20%

发散角:<260 urad

脉冲-脉冲稳定性:<10%



产品特点

AMT-266皮秒激光器可以通过内外控信号触发,实现同步输出功能。


1. 高端应用:AMT-266皮秒激光器可输出深紫外波长 266nm,主要应用于28nm及以下节点制程的芯片缺陷检测,助力半导体检测装备国产化,也可应用于大口径光学元件表面形貌检测、高分子材料切割和高密度信息存储等领域。


2. AMT-266皮秒激光器基于长寿命高重频超快锁模技术开发平台,实现高功率深紫外稳定输出,长期稳定可靠,单点寿命大于1000hrs,整机寿命大于2000hrs,满足半导体工业的应用标准。


3. 关键指标达到国际一流水平:通过行业领先的倍频技术,光束质量M平方因子<1.2,可靠的功率稳定性<3 %,卓越的光斑圆度(>90%),可实现优异的激光加工质量。


4. AMT-266皮秒激光器采用水冷冷却方式,腔体机构坚固,整机防应力设计充分,是性能和稳定性的完美结合,适合各种高挑战性应用场景。


5. AMT-266皮秒激光器可以通过内外控信号触发,实现同步输出功能。



产品创新

1. AMT-266-3W-70MHZ可输出深紫外波长 266nm,功率高达3W。高功率、高重频、深紫外输出,提高了检测应用的空间分辨率、灵敏度和效率,符合28nm及以下节点芯片制程的晶圆缺陷检测需求。


2. AMT-266皮秒激光器拥有全新设计的光学系统,使得关键指标光束质量达到国际一流水平:M平方因子<1.2和卓越的光斑圆度(>90%)


3. AMT-266皮秒激光器激光器有四倍频换点功能,先进的换点技术能保证换点后光束质量、光斑大小 、光束指向性不变,延长晶体使用寿命,提高机器稳定性。


4. AMT-266皮秒激光器拥有自研高性能高可靠性的核心模块,如超快种子源、非线性晶体的高温加热炉等,保证了整机系统的长期可靠性,实现单点寿命大于1000hrs,整机寿命大于2000hrs。


5. AMT-266皮秒激光器由空气洁净系统,可以对腔内进行清洁,延长晶体使用寿命,空气洁净系统维护、更换方便。



市场情况

国内首先推出工业化的高重频高功率深紫外固体激光器,核心指标(光束质量M平方因子、光谱线宽、单点和整机寿命)达到国际同行(美国Coherent、日本Oxide)领先水平。通过国内行业关键客户的性能测试和单点1000hrs 寿命测试,达到28nm以及更先进制程的晶圆缺陷检测设备的需求,实现小批量生产。


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