名称：激光调阻机

主要用途：激光调阻机主要通过短脉冲激光扫描切割电阻基片， 从而改变电阻体的导电横截面积和导电长度， 达到调节片式薄膜电阻阻值的效果。

经济效益：激光调阻机自2015年10月实现销售以来，为企业新增销售近5亿元。

社会效益：

①我们建设了一支年轻和富有活力的科研梯队，培养了光学、电学、机械、软件、测试等相关具有丰富经验的技术人才，带动就业近百人。

②激光调阻机具备良好的市场前景，竞争能力强，无污染（无废气、废水、废渣产生），低能耗，节约能源，建设条件优越，生产技术先进，自动化程度极高，产业附加值高；

③我司产能的增加，通过新技术、新工艺的推广，在基于激光技术相关配套行业的发展上起到积极作用、在行业中产生较大的经济效益； 促进了激光精密加工、微电子制造、电子仪器仪表、自动化控制技术、节能技术、环保技术等相关产业及其配套行业的水平提高和行业的共同发展。

产品特点

♦ 突破传统固体激光器限制， 采用定制光纤激光器， 为客户提供最优性价比

♦ 自主研发量测／控制系统， 拥有自主知识产权

♦ 自主研发软件操作系统， 可增加不同调阻刀型， 满足客户定制化需求

♦ 可调阻范围广，超低阻0.1mΩ~100mΩ,常规100mΩ~1MΩ,超高阻1MΩ~10MΩ

♦ 适应多种产品类型，01005~2512

♦ 兼容铜箔、 合金、 薄膜、 厚膜片式电阻修阻

♦ 核心模组为 激光器、 测量系统、 运动控制系统、 主控程序

技术团队（略）

技术来源：

本项目技术含量很高，需要成熟掌握光纤激光器研制开发技术、激光聚焦与图象监控技术、同轴数控软件与图像视觉自动识别定位技术、ATE（自动化测试工装）等技术。激光调阻机作为集光、机、电及计算机控制于一体的，能够实现对电阻高精度、高速度微调的一种设备，由光学系统、阻值实时测量系统、精密机械系统、上下料系统、计算机控制系统等构成。其原理就是利用一束极细的激光束以及适当的能量密度，打在厚、薄膜电阻上，通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻，通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行，同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化，厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值，当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭，即实现激光调阻过程。

创新点：

我们的研发团队由多名在设备研制方面经验丰富的国内外专家组成，具有独立自主的开发能力，快速的反应能力，团队已设计出适用于不同种类贴片电阻微调的光路系统，机械系统以及检测与控制系统，已掌握激光调阻机的各部分参数对调阻精度与速度的影响因素，修阻范围0.1mΩ~1Ω，目前业内如NEC只能达到10 mΩ，且精度低于我们， 量测系统的测量精度在±0.1%内，领先于业内0.2%水平。本项目所研制的激光调阻设备具有国际先进的加工工艺和竞争力极强的价格优势。不仅可以打破跨国公司对该领域的商业垄断，而且可以打破技术壁垒，使我国在该领域取得更高层次的突破，其战略意义十分重大。该产品的推广应用可以降低电源模块的生产成本，提高生产效率。精密激光调阻机的国内产业化，将直接带动国内电子元件的生产水平跨入国际先进行列，推动我国激光加工设备产业的发展，为争取民族高科技产业在世界上占有一席之地作出一定的贡献。

市场情况:

激光调阻机是激光技术在电子加工工业中的一种应用，它是集光学、精密机械、计算机控制和精密测量技术于一体的高技术产品。随着现代微电子技术的蓬勃发展，厚膜电阻由于其设备投资少、生产效率高，在微电子领域中得到了广泛应用，如单片集成电路（MIC）、混合集成电路（HIC）、热敏打印头、多芯片组件。厚膜电阻的加工是一个复杂的工艺过程，需要经过丝网印刷、烧结等工艺，由于厚膜丝网印刷操作固有的不精确性，基板表面不均匀及烧结条件的不重复性，不能保证厚膜电阻的精度要求，不能达到标称值，因此要对厚膜电阻进行修整加工（或微调）。激光调阻机也是电子信息行业中生产新型电子元器件（片式薄膜电阻）的关键设备，随着电子信息业的快速发展，我国行业市场对激光调阻机的需求越来越大，因此对激光调阻机进行研制具有重大的社会应用价值和广阔的发展前景，同时对我国片式薄膜电阻制造业在提高生产效率、降低生产成本、增强产品竞争力等方面，将起到积极的促进作用。

国外对激光调阻技术及激光调阻机的研究起始于上世纪七十年代，并有一些产品用于片式电阻的批量生产线中。代表性的公司有：美国的 ESI 公司、GSI 公司、日本的 NEC 公司、欧姆龙公司。国内有单位在上世纪八十年代开始激光调阻技术方面的研究，也有过一些研究成果，由于激光调阻机涉及技术领域多、构成复杂、设计难度大，到 2000年为止，一直没有能用于片阻生产线的激光调阻机问世。2000 年 10 月，长春光机所光华微电子设备工程中心有限公司研制出我国第一台激光调阻机。激光调阻机研制成功标志了我国在光学、机械、控制中检测领域的综合水平达到了一定高度，为我国其它激光加工设备的生产奠定了基础，缩小了我国与国外在这些领域的差距。经过近十几年的努力，目前国产激光调阻机的技术水平已经有了很大提高，很多技术指标已经与国外几家公司产品相当。它的诞生，填补了国产激光调阻机的空白，结束了我国不能生产激光调阻机的历史，打破了美、日两国的技术垄断，结束了依靠从美国、日本进口激光调阻机的历史，取代了进口设备，为国家节省了外汇。