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LAB Motion Systems

入围:激光配套产品创新奖



申报项目

纳米精度5轴联动运动控制系统

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主要用途:

超精密激光微加工方向


产品主要技术指标描述

全气浮5轴联动运动控制系统包括Planar XY轴,AB旋转轴,Z轴,5轴控制器(含Pulse on Demand功能),激光微加工操作软件。


1、Planar XY轴:

1.1、气浮轴承, X轴/Y轴的行程≥300 mm;

1.6、速度≥1000 mm/秒;

1.7、X轴/Y轴定位精度≤±0.4 µm;

1.8、X轴/Y轴重复定位精度≤0.1 µm;

1.10、直线度/平面度≤±0.5 µm, 300*300 mm范围内XY的整体平面度≤±1 µm;

1.13、Pitch/Roll/Yaw≤±5 µrad;

2、AB旋转轴:

2.1、气浮轴承;

2.2、A轴/B轴端跳≤50nm;A轴/B轴径跳≤100nm;

3、Z轴:

3.1、行程≥50mm;

3.4、3.5、重复定位精度≤±0.1µm;

3.6、直线度/平面度≤±1µm;

4.5轴控制器:

4.1、5轴驱动控制系统

4.3、支持与激光脉冲基于位置同步的Pulse on Demand功能;

5、激光微加工操控软件:

5.1、图形化操作界面;

5.2、支持五轴联动;

5.3、兼容主流振镜和camera, 并内置校准等功能


产品特点

基于气浮轴承的5轴联动运动控制系统,经过专门的设计和优化,结合了高动态和高精度,并根据加工任务,可以集成一个或多个激光器和振镜系统。通过C轴和A轴两个旋转单元,以及高性能连续路径控制,该系统可以完美实现2.5D、3D和自由曲面加工 。同时,视加工精度的实际需求,所有5轴包括龙门均可提供机械轴承系统选配,确保客户在实际预算内获得最理想的配置与性能。

视实际加工需求, 控制器系统兼容市场上主流的超快激光器和振镜系统。


产品创新

LAB Motion Systems公司2005年成立于比利时著名的大学城鲁汶,公司的全称是Leuven Air Bearings NV。LAB是全球领先的气浮运动控制系统提供商,公司为用户提供基于气浮轴承技术的纳米精度运动控制系统,包括气浮旋转平台和多轴运动控制平台。其气浮转台的端跳和径跳可以达到<20 nm的精度。

5轴全气浮运动控制系统具备高精度的纳米量级误差;而且整体行程大,兼容性高,可以集成多种光源和振镜系统;通过C轴和A轴两个旋转单元,以及高性能连续路径控制,该系统可以完美实现2.5D、3D和自由曲面加。


市场情况

LAB Motion Systems在高性能运动控制系统的开发和生产方面拥有超过15年的经验。为OEM集成,特殊开发和研究应用实现了最先进的运动控制。LAB的气浮运动控制系统已经在全球范围成功安装上千台,并广泛的应用与半导体检测、同步辐射、超精密激光微加工、生命科学等领域。公司依靠优秀的技术专家、开发工程师和训练有素的技术人员团队,具有雄厚的技术实力,可以为客户提供全方位的解决方案和技术服务。


咨询热线:139 2904 7858 | 邮箱: 490868585@qq.com

*本活动最终解释权归“红光奖”中国激光行业创新贡献奖组委会、《激光制造商情》所有

备案号:粤ICP备13066469号

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