申报项目

Quasar UV80激光器

产品特点

Quasar激光系列具有突破性的性能，专为快速微加工设计，具有高重复频率，以前所未有的最高紫外平均功率和能量引领行业。 Quasar UV80激光器在200 kHz (> 400 μ J/脉冲)下提供业界领先的>80 W的紫外单模输出功率。从单次发射到3.5 MHz的宽重复频率范围内，具有从<2>100 ns的独立可调脉冲宽度。

Quasar的TimeShift技术，可编程脉冲技术，在加工速度、灵活性和控制方面达到了极致。 通过使脉冲可编程性在时域内自定义激光脉冲宽度、形状和重复频率，材料去除或微整形变得更高效，从而提高加工速度和质量。 Quasar 的 TimeShift技术能实现脉冲宽度相对于重复频率不变，脉冲宽度和脉冲整形可变，脉冲分裂和脉冲串模式用于定制波形创建。 当与Quasar激光的脉冲按需(POD)、位置同步输出(PSO)和低时间抖动相结合时，Quasar能够实现微加工的模式转变。

受益于TimeShift 的能力，可加工的材料包括：硅和脆性材料; 聚酰亚胺和其他PCB/ HDI聚合物; 薄膜和铜。一般来说，当需要加工微小结构时，将一个高能脉冲分割成多个低能量的子脉冲可以创造更多的最佳通量条件，从而实现更高的吞吐量。

Quasar UV80激光器是MKS在混合光纤激光技术上经过近15年的研究和开发才进入市场的。 早在上世纪90年代，我们的研发团队就率先开发了一些光纤激光技术。 我们还开发和完善了世界一流的二极管泵浦固态(DPSS)激光放大技术，专利的长寿命/稳定/一致的倍频技术，并在世界各地部署了成千上万的工业激光器，全天候生产运营。 通过将光纤前端的多功能性与DPSS功率放大和专利倍频技术相结合，Quasar UV80激光器提供了多功能性、高功率和脉冲能量、单模紫外性能和高可靠性的独特组合。

Quasar UV80激光利用专有的高频调制技术，合成UV和绿光波长的高功率/高脉冲能量任意光波形。 架构包括先进的数字和模拟电子，精密电力电子，微处理器控制和全面的数据记录，以实现最大的性能。 Quasar UV80提供高功率，出色的上升时间; 可调节脉冲形状、脉冲串模式、在线调节重复频率(以及高重复频率)。

Quasar UV80激光器的使用寿命长，是由MKS公司严格的研发流程开发的，并经数百万小时的设备运行证明。 设计过程中的每个关键部件都进行了可靠性和性能测试。 采用高加速寿命试验(HALT)来验证极端故障点和设计可靠性裕度。 通过随机振动、冷热储存、极端条件多点测试等系统级鉴定，验证了激光的质量和长期耐久性。 在这一严格协议的每个阶段，都对设计进行了评估和改进，以在可靠的工业设计中提供Quasar UV80的功率和性能。

市场情况

Quasar UV80激光器以行业最高的紫外单模平均功率和能量引领全球市场，用于快速、高质量的微加工。 其卓越的能力包括新颖的TimesShift技术，可优化激光与材料的相互作用，提高加工速度、灵活性和成品率。 Quasar UV80激光器已被验证，并且使电子、半导体和太阳能的一些最苛刻的激光微加工应用大批量生产得以实现。