申报项目：

PERC晶硅太阳电池绿光皮秒开槽加工系统

产品特点

产品采用自主研制的大功率高重频绿光皮秒激光器和进口高速振镜，根据国内光伏龙头产商要求，搭配自动化上下料机传输系统，以及多项高精度定位、视觉检测系统。采用皮秒激光对晶硅电池背面nm级介质薄膜进行开膜刻蚀，相比纳米激光，具有热影响深度小，对硅衬底损伤小，处理表面平整的优势。同时皮秒激光器可以达到数MHz的高重频，并且具有脉冲串功能，未来提升处理能力和加工速度的潜力更大。产品的上下料实现与产线AGV自动对接，达到无人化车间要求；产品带有前后道视觉检测，对缺陷产品做到完善监测和分类处理，同时与生产数据系统连接，有效控制产品品质。通过整体优化，产品的产能已达到业内最高水平，为客户增产降本提供有效帮助。

产品创新

本产品主要创新为采用大功率高重频绿光皮秒激光器进行nm膜层的刻蚀，激光器由子公司盛镭激光自主研制，已形成批量生产销售，技术团队主要成员来自原国家“神光团队”，长期从事超快激光技术研发，以大功率皮秒激光器为基础开发系列产品，在国内居于领先地位。产品整体工艺开发团队成员来自国内著名的中山大学光伏团队，对于激光技术在光伏产品的应用有长期经验。产品开发过程与国内光伏电池龙头企业进行产期互动，在产能和品质管控方面进行了多项提升，能满足最新的产线需求。

市场情况

该产品经过一年多开发，历经多次升级迭代，目前已经入光伏龙头企业使用，即将形成批量交付，与国内外同行业产品相比，在加工产品效率上略显优势，在成本控制上有比较大的优势。