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大族激光科技产业集团股份有限公司

入围:激光加工头创新贡献奖

产品名称:双振镜扫描方头

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产品描述和主要用途: 在一个方头内安装两套X/Y振镜,两套振镜共用一个聚焦镜头。在聚焦镜头一定的情况下,提升扫描范围。方头内两套振镜分别控制,同时工作,加工效率提高100%。比起使用多个方头同时工作,双振镜方头结构更加紧凑,占用空间减小,效率更高,而且可以有效解决晶圆翘曲时的加工效果变差的问题。主要用于晶圆的标记、划线、打码等方向。

服务时间:从2020年推出,预计服务时间超过5年

产品主要技术指标描述

产品在使用F250mm焦距的镜头进行聚焦时,可以实现BOX200mm×200mm范围的标记,

在做拼接使用时拼接精度<20um


产品特点(兼容性、技术先进性)

双振镜方头的外观如下图所示,方头内部有两套振镜片Ax/Ay和Bx/By,下方可连接不同焦距的聚焦镜头。


A路和B路两束激光从不同方向进入方头分别照射到两套振镜Ax/Ay和Bx/By上。经过振镜的反射后,两路光再通过同一聚焦镜头聚焦。方头上电后分别控制两套镜片摆动,使两路激光聚焦在所需的地方,完成激光加工。


该方头相比于已有的单振镜方头,扫描范围增加了近30%,有效地减少了需要拼接的部分,使加工精度得到提高。方头在调试过程中,经过粗调和精调,两套振镜扫描范围重合。保证了两套振镜单独加工时,精度达到要求,和单振镜方头精度相同。并行工作时,拼接处的加工精度高,优于两套单振镜方头同时加工的精度。


两套振镜同时工作比单振镜工作效率提高了一倍。使用两套或者多套单振镜方头,效率可能和本方头相同。但多套单振镜方头的使用会占用更多空间,使系统更加冗杂,在晶圆翘曲变形时拼接精度无法达到要求。

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产品创新(技术团队,技术来源及产品创新点)

在一个方头内安装两套振镜,共享一个聚焦镜头,通过光学、机械的创新设计以及电机控制,实现无缝拼接,提高效率100%,有效利用镜头通光孔径,增大扫描范围超30%。并同时降低成本。


市场情况(与国内或国际同行业领域相比所具有的竞争能力,如市场规模、品牌服务等)

目前市场上只有一家国外公司设备上有类似的产品,但是价格是本产品的2-3倍,据客户反馈,由于是国外技术,产品固定,使用时无法进行技术扩展,售后技术服务也有待提高。


本产品已经在国内几家大的晶圆加工场的产品线上使用,客户反馈良好,满足客户实际加工需求,效率超出预期,又有大族激光优秀的研发团队以及售后服务团队加持,可以展望在以后几年中会得到广泛应用。


咨询热线:139 2904 7858 | 邮箱: 490868585@qq.com

*本活动最终解释权归“红光奖”中国激光行业创新贡献奖组委会、《激光制造商情》所有

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