申报项目

纳米精度5轴联动运动控制系统

主要用途：

超精密激光微加工方向

产品主要技术指标描述

全气浮5轴联动运动控制系统包括Planar XY轴，AB旋转轴，Z轴，5轴控制器(含Pulse on Demand功能)，激光微加工操作软件。

1、Planar XY轴：

1.1、气浮轴承, X轴/Y轴的行程≥300 mm；

1.6、速度≥1000 mm/秒；

1.7、X轴/Y轴定位精度≤±0.4 µm；

1.8、X轴/Y轴重复定位精度≤0.1 µm；

1.10、直线度/平面度≤±0.5 µm, 300*300 mm范围内XY的整体平面度≤±1 µm；

1.13、Pitch/Roll/Yaw≤±5 µrad；

2、AB旋转轴：

2.1、气浮轴承；

2.2、A轴/B轴端跳≤50nm；A轴/B轴径跳≤100nm；

3、Z轴：

3.1、行程≥50mm；

3.4、3.5、重复定位精度≤±0.1µm；

3.6、直线度/平面度≤±1µm；

4.5轴控制器：

4.1、5轴驱动控制系统

4.3、支持与激光脉冲基于位置同步的Pulse on Demand功能；

5、激光微加工操控软件：

5.1、图形化操作界面；

5.2、支持五轴联动;

5.3、兼容主流振镜和camera, 并内置校准等功能

产品特点

基于气浮轴承的5轴联动运动控制系统，经过专门的设计和优化，结合了高动态和高精度，并根据加工任务，可以集成一个或多个激光器和振镜系统。通过C轴和A轴两个旋转单元，以及高性能连续路径控制，该系统可以完美实现2.5D、3D和自由曲面加工 。同时，视加工精度的实际需求，所有5轴包括龙门均可提供机械轴承系统选配，确保客户在实际预算内获得最理想的配置与性能。

视实际加工需求, 控制器系统兼容市场上主流的超快激光器和振镜系统。

产品创新

LAB Motion Systems公司2005年成立于比利时著名的大学城鲁汶，公司的全称是Leuven Air Bearings NV。LAB是全球领先的气浮运动控制系统提供商，公司为用户提供基于气浮轴承技术的纳米精度运动控制系统，包括气浮旋转平台和多轴运动控制平台。其气浮转台的端跳和径跳可以达到<20 nm的精度。

5轴全气浮运动控制系统具备高精度的纳米量级误差；而且整体行程大，兼容性高，可以集成多种光源和振镜系统；通过C轴和A轴两个旋转单元，以及高性能连续路径控制，该系统可以完美实现2.5D、3D和自由曲面加。

市场情况

LAB Motion Systems在高性能运动控制系统的开发和生产方面拥有超过15年的经验。为OEM集成，特殊开发和研究应用实现了最先进的运动控制。LAB的气浮运动控制系统已经在全球范围成功安装上千台，并广泛的应用与半导体检测、同步辐射、超精密激光微加工、生命科学等领域。公司依靠优秀的技术专家、开发工程师和训练有素的技术人员团队，具有雄厚的技术实力，可以为客户提供全方位的解决方案和技术服务。